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磁懸浮復(fù)合分子泵
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Osaka復(fù)合分子泵使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無(wú)油的排氣，而且維護(hù)周期長(zhǎng)。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。
詳細(xì)介紹
Osaka復(fù)合分子泵TG-M系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無(wú)油的排氣，而且維護(hù)周期長(zhǎng)。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。
TG-M系列磁懸浮分子泵產(chǎn)品型號(hào)：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M
特點(diǎn)
任意方位安裝
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
分子泵停止與啟動(dòng)時(shí)間短
附帶維護(hù)警報(bào)機(jī)能
低振動(dòng)
無(wú)需調(diào)整
自動(dòng)校準(zhǔn)
可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE
應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗(yàn)裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開(kāi)發(fā)
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | TG390M | TG420M | TG900M | TG1300M | TG2400M | |
法蘭 | 吸氣口ISO-R/CF | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
排氣口 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | |
排氣速度 | N2（附加金屬過(guò)濾網(wǎng)） | 320L/s | 370L/s | 860L/s | 1230L/s | 2300L/s |
H2 | 290L/s | 300L/s | 1050L/s | 1200L/s | 1100L/s | |
大壓縮比 | N2 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | 4.5×103 | 1.5×104 | 1.5×104 | 1.5×103 | |
極限壓力 | ISO-R/CF | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa |
可達(dá)氣體流量 | N2（sccm） | 2000 | 2000 | 3000 | 3000 | 3000 |
推薦輔助泵 | ≥160L/min | ≥160L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | |
容許輔助壓力 | 400Pa | 400Pa | 500Pa | 500Pa | 200Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 14/17 | 14/17 | 34/42 | 34/42 | 45/54 |