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應(yīng)用領(lǐng)域	化工

Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng)，是針對薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計的渦輪分子泵。其葉片級數(shù)和整個泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，能夠在高溫負(fù)載和很高氬氣流下工作。

這款Turbo-V 3K-G 分子泵設(shè)計堅固，適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用，包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠設(shè)計和先進的集成電子設(shè)備，使其成為真空鍍膜行業(yè)的最佳分子泵解決方案。

特性

專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計的分子泵解決方案
經(jīng)優(yōu)化適用于很高的氬氣流量
集成式泵和控制器可安裝在任何位置，操作簡單，占地面積小
支持高氣體流速，能夠使用 DN 250 實現(xiàn)高通量應(yīng)用
耐用設(shè)計、高效運行的冷卻系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)運行
氣體吹掃可保護泵軸承，在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實現(xiàn)無縫運行
低噪音，不會對系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響
免維護軸承，零運行成本
通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時隨地進行泵操作并可選配 Profibus
通用電子接口，包括模擬 I/O 信號和 RS232/RS485，用于通過 A-Plus 軟件實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制

性能指標(biāo)

He 壓縮比	6 x 103
N2 壓縮比	>1 x 107
前級管道法蘭尺寸	KF 40 NW
前級耐壓 — N2	0.5 mbar
啟動時間	< 6 min
工作位置	任意
建議采用的前級泵容量	60 m3/h
抽速 — Ar	2050 L/s
抽速 — He	1900 L/s
抽速 — N2	2200 L/s
操作環(huán)境溫度	+5 to +35 °C
極限真空	<1 x 10–8 mbar
標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證	EN 55011（無線電干擾特性） EN 61000-3-2（諧波電流發(fā)射限值） EN 61000-3-3（電壓變化、電壓波動和閃爍的限制） EN 61000-6-2 和 EN 61326（工業(yè)環(huán)境的抗擾度）檢查： EN 61000-4-2（靜電放電現(xiàn)象） EN 61000-4-3（高頻輻射現(xiàn)象） EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高頻導(dǎo)電現(xiàn)象） EN 61000-4-11（電壓波動、電壓暫降和短時中斷）
法蘭類型	DN 250 ISO-F
貯存環(huán)境溫度	-20 至 +70 °C
重量	52 kg
額定轉(zhuǎn)速	31800 rpm（驅(qū)動頻率 530 Hz）