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產品型號

   VTC-16-3HD  3靶等離子濺射儀

主要特點

   1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。

   2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

   3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。

   4、已通過CE認證。

技術參數(shù)

   1、輸入功率：110V/220V通用   2000W（含真空泵）

   2、輸出功率：1600VDC  50mA（zui大電流）

   3、石英罩：Φ160mm×120mm

   4、樣品臺：Φ50mm（可選購加熱型樣品臺，zui高溫度可到500℃；zui長濺射時間不可超過5min）

   5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

   6、進氣口：裝有精密可調針閥，以實現(xiàn)方便的調節(jié)進氣量

   7、靶材：尺寸直徑Φ47mm，厚度0.5mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導體、一些輕

　　             金屬、Al、Zn、C等

產品規(guī)格

　尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg

可選配件

   1、KF25真空接口、卡箍

   2、不銹鋼波紋管（600mm）

   3、旋片式真空泵（120L/M）

   4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

   5、加熱型樣品臺