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產(chǎn)品型號

  高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特點

  1、雙層Al₂O₃纖維鋼構，無需水冷或風冷。

  2、內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

  3、PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能。

  4、已通過CE認證。

技術參數(shù)

  1、電源：單相208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2、石英管：外徑Φ110mm，內徑Φ103mm，長380mm

  3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Φ10mm，燈長300mm

  4、加熱區(qū)：300mm

  5、工作溫度：zui高溫度1100℃

  6、控溫精度：±0.5℃

  7、zui高升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s

  8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

  9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水　 　 　 　 　         冷，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

  10、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

  11、質量流量計：3個，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

  12、混氣罐：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg