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產品型號

  4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV

主要特點

  1、石英樣品架固定在滑動法蘭上，使樣品裝載更加容易。

  2、樣品架上放置76mm的AlN基片，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導率，可使樣品放置的區(qū)域有很　           好的溫度均勻性（± 5℃）。

  3、內插式熱偶保證了溫度的準確性。

  4、采用PID自動溫度控制，30段程序，并設有過熱和斷偶保護功能。

  5、已通過CE認證。

技術參數(shù)

  1、電源：爐體單相208-240V，50/60Hz，10KW；高真空系統(tǒng)AC110V/220V任意切換，50/60Hz，110W

  2、爐體結構：雙層莫來石鋼構

  3、石英管：外徑Φ110mm，內徑Φ103mm，長380mm

  4、樣品架：76mm

  5、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Φ10mm，燈長300mm

  6、加熱區(qū)：102mm×305mm，均勻性±5℃

  7、熱偶：K型熱偶

  8、溫度：zui高溫度1100℃，額定溫度1000℃，在1000-1100℃下保溫時間不得超過600s

  9、控溫精度：±0.5℃

  10、zui快升溫速度：RT-800℃內50℃/s，800-1000℃內10℃/s

  11、高真空系統(tǒng)氣動時間：2min

  12、真空度：6.3×10^-5mbar（在40min中）

  13、真空法蘭：KF-D25，配有兩個高溫O型圈密封

  14、流量計：16-160ml/min

  15、前級泵流速：在10mbar狀態(tài)下3.8L/min，50Hz；4.4L/min，60Hz

產品規(guī)格

  爐體：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg

  高真空系統(tǒng)：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg