目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>CVD及PECVD系統(tǒng)>>CBD/PECVD系統(tǒng)>> 4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2016-04-12 10:03:05瀏覽次數(shù)：1675評(píng)價(jià)
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產(chǎn)品型號(hào) | 4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | 1、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 2、輝光放電等離子體中電子密度可達(dá)109-1012cm3。 3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。 4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)，可準(zhǔn)確地控制氣體流量。 5、一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。 6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動(dòng)控制混合氣體的輸入。 7、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源：AC220V 4KW 2、爐管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用 3、溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 4、加熱區(qū)：440mm 5、恒溫區(qū)：150mm |
等離子射頻電源 1、輸入功率：AC220V 1KW 2、輸出功率：50-500W可調(diào)，±1% 3、RF頻率：13.56MHz可調(diào)，±0.005%穩(wěn)定 4、噪聲：≤55DB 5、冷卻：風(fēng)冷 | |
真空泵和質(zhì)量流量計(jì) 1、真空度：10-3torr 2、波紋管：KF25系列 3、質(zhì)量流量計(jì)：0-200，誤差0.02%，進(jìn)氣口采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm 重量：120kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空計(jì) |
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