產(chǎn)品介紹

IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī) 格，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量，適助力設(shè)備升 級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的 表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級，安裝維護(hù)便捷高效。

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計