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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NanoX-2000/3000 系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
詳細(xì)介紹
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀優(yōu)勢(shì)
?美國(guó)硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件
?關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等品牌
?PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)
?Nikon干涉物鏡
?NI信號(hào)控制板和Labview64控制軟件
?TMC光學(xué)隔振臺(tái)
?測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到高級(jí)水平(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院證書(shū))
