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橢偏儀的基本原理和測(cè)量特點(diǎn)
閱讀：1886 發(fā)布時(shí)間：2022-8-22
橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種JI具吸引力的測(cè)量?jī)x器。
基本原理：
橢偏儀利用偏振光測(cè)量薄膜或界面參量，通過測(cè)量被測(cè)樣品反射(或透射)光線偏振狀態(tài)的變化來獲得樣品參量。
橢偏儀的應(yīng)用：
由于測(cè)量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種JI具吸引力的測(cè)量?jī)x器。橢偏儀/橢圓偏振儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。
可測(cè)材料：半導(dǎo)體、介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。
橢偏法測(cè)量具有如下特點(diǎn)：
1.能測(cè)量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。
2.是一種無損測(cè)量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學(xué)分析法簡(jiǎn)便。
3.可同時(shí)測(cè)量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。
4.對(duì)一些表面結(jié)構(gòu)、表面過程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。是研究表面物理的一種方法。