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薄膜的膜厚測定

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測定物質(zhì)的膜厚有各式各樣方法,而用紫外,可見分光光度計,可進(jìn)行簡單的無損測定。本文探討了用紫外、可見分光光度計可測定多少厚度的膜厚。
用分光光度計測定,膜的表面和里面的反射光互相干擾,得到波動的干涉光譜。厚度可計算在一定波長范圍內(nèi)的光譜上的波數(shù)而求出(但需有膜物質(zhì)的折射率)。
膜越薄,光譜上的波數(shù)越減少,越厚越增加。這次測定了薄膜和厚膜的界限。

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