產(chǎn)品簡(jiǎn)介
測(cè)量法是指光柵尺或編碼器在通電時(shí)立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無(wú)需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。位置信息由測(cè)量基準(zhǔn)上的光柵讀取,它由系列式編碼組成。將單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)進(jìn)行細(xì)分生成位置值,并根據(jù)接口版本,還生成可選的增量信號(hào)。
詳細(xì)介紹
敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線光柵尺
增量測(cè)量法的磁柵由周期性柵線組成。通 過(guò)計(jì)算自某點(diǎn)開(kāi)始的增量數(shù)(測(cè)量步距 數(shù))獲得位置信息。由于必須用參考 點(diǎn)確定位置值,因此測(cè)量基準(zhǔn)的光柵尺上 還有一個(gè)參考點(diǎn)刻軌。在光柵尺上,由參 考點(diǎn)確定的位置是在一個(gè)信號(hào)周期分 配的。因此,必須通過(guò)掃描參考點(diǎn)建立絕 對(duì)基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)。
在不理想的情況下,可能需要運(yùn)動(dòng)機(jī)床 測(cè)量范圍的相當(dāng)大部分。為加快和簡(jiǎn)化 “參考點(diǎn)回零”操作,許多海德漢尺帶距 離編碼參考點(diǎn),這些參考點(diǎn)之間彼此相距 數(shù)學(xué)算法確定的距離。因此只需運(yùn)動(dòng)數(shù)毫 米,一旦移過(guò)兩個(gè)相鄰參考點(diǎn)后,后續(xù)電 子電路就能找到參考點(diǎn)位置(見(jiàn)下 表)。距離編碼參考點(diǎn)的光柵尺在型號(hào)后 均帶字母“C”(例如LIF 181C)。
敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線光柵尺
光電掃描
海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原 理。光電掃描在工作中無(wú)接觸,因此無(wú)磨 損。光電掃描可以檢測(cè)到非常細(xì)小的光 柵,柵線寬度可僅數(shù)微米,并能輸出非常 細(xì)小的信號(hào)周期信號(hào)。
測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小,光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴(yán)重。海德漢直線光柵尺采用兩種掃 描原理:
• 成像掃描原理用于10 µm至200 µm的柵 距。
• 干涉掃描原理用于柵距4 µm甚至更小柵 距的光柵。
成像掃描原理
簡(jiǎn)單地說(shuō)成像掃描原理是用透射光生成信 號(hào):兩個(gè)柵距相同或相近的光柵與掃描掩 膜彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。掃描掩膜的基體為透明 色,而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵材料可為透明 材料也可以為反光材料。
當(dāng)平行光穿過(guò)光柵時(shí),以特定的間隔形成 明暗的光影區(qū)。在該處設(shè)有柵距相同或相 近的掃描光柵。當(dāng)兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí), 入射光被調(diào)制:在狹縫對(duì)齊時(shí),光線通 過(guò)。如果一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的 狹縫對(duì)齊,光線無(wú)法通過(guò)。光電池將這些 光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。
特殊結(jié)構(gòu)的掃描 掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào)。光柵 條紋的柵距越小,掃描掩膜與光柵尺間的 間距越小,公差越嚴(yán)。對(duì)于成像掃描原理 的光柵尺,10 μm或更大柵距的光柵尺可 滿足實(shí)用的安裝公差要求。
LIF 471,LIF 481 安裝簡(jiǎn)單的增量式直線光柵尺
• 測(cè)量步距達(dá)2 nm
• 自帶回零軌和限位開(kāi)關(guān)檢測(cè)位置
• 易于安裝,粘結(jié)固定
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用
• 可提供高真空度版(參見(jiàn)產(chǎn)品信息文檔)