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產(chǎn)品簡介
日本昭和ssvi超薄型主動隔振裝置VAAV-H
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
原始的主動振動隔離算法可高速計算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動。
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
原始的主動振動隔離算法可高速計算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動。
詳細(xì)介紹
日本昭和ssvi超薄型主動隔振裝置VAAV-H
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
原始的主動振動隔離算法可高速計算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動。
超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè)，前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。
在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時，安裝臺的激振力所產(chǎn)生的振動也會同時衰減。
- 它具有與VAAV-A系列相同的性能，但可以使設(shè)備的整體高度較低。
- 氣動控制可實(shí)現(xiàn)全fang位高精度的位移和位置控制。
- 可以選擇能夠應(yīng)對較大移動負(fù)載的高速響應(yīng)大流量閥。
- 安全可靠的設(shè)計與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
- 標(biāo)配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。
- 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作需要精細(xì)處理的晶片的振動對策以及用于移動晶片的臺架的振動對策。
- 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在機(jī)架和工作臺明顯移動時快速衰減振動，并用于立即檢查和校正，這有助于縮短節(jié)拍時間。
- 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺上的振動，該工作臺用于精密加工，同時支持大載荷的運(yùn)動。
日本昭和ssvi超薄型主動隔振裝置VAAV-H
| 模型 | 可安裝質(zhì)量（1個單位） | 尺寸（1個單位） |
|---|---|---|
| VAAV-1000-110H | 500-1700公斤 | 240（寬）x 240（深）x 110（高）毫米 |
| VAAV-2200-110H | 1100-3700公斤 | 350（W）x 350（D）x 110（H）毫米 |
| VAAV-4000-110H | 2100-7000公斤 | 420（寬）x 420（深）x 110（高）mm |
| VAAV-7000-120H | 3600?12000公斤 | 450（W）x 450（D）x 120（H）毫米 |
- *防震臺的標(biāo)準(zhǔn)配置為4個/單位。
- *表中的大值可以在沒有均勻負(fù)載和沒有動態(tài)負(fù)載的情況下應(yīng)用。
| 控制器 SAC-07 |  300（W）x 300（D）x 118（H）毫米 |
|---|---|
| 電源供應(yīng) | AC100V-240V 100VA（單相） |
| 電源線 | 3m |
| 調(diào)節(jié)器 RGU-07 | 250（W）x 100（D）x 200（H）毫米 |
| 單元連接電纜 | 5m |
| 自由度 | 3軸6自由度 |
|---|---|
| 振動傳遞函數(shù) | |
| 定位精度 | ±10微米 |
| 主供氣壓力 | 0.6MPa以上（清潔空氣） |
| 耗氣量 | 標(biāo)準(zhǔn)閥60 L / min 高速響應(yīng)閥250 L / min |