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半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)測(cè)試實(shí)驗(yàn)需要哪些儀器呢？認(rèn)準(zhǔn)生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表，普賽斯儀表自主研發(fā)的高精度臺(tái)式數(shù)字源表、脈沖式源表、集成插卡式源表、窄脈沖電流源、高精度高壓電源等，*國(guó)產(chǎn)空白。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的測(cè)試工藝，為客戶提供模塊化硬件、高效驅(qū)動(dòng)程序和高效算法軟件組合，幫助用戶構(gòu)建自定義解決方案。為半導(dǎo)體封測(cè)廠家提供相關(guān)測(cè)試儀表、測(cè)試平臺(tái)，以及相關(guān)技術(shù)服務(wù)，滿足行業(yè)對(duì)測(cè)試效率、測(cè)試精度，以及低成本的挑戰(zhàn)。

半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)是表征和分析半導(dǎo)體材料的重要手段，可根據(jù)霍爾系數(shù)的符號(hào)判斷材料的導(dǎo)電類(lèi)型?；魻栃?yīng)本質(zhì)上是運(yùn)動(dòng)的帶電粒子在磁場(chǎng)中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn)，當(dāng)帶電粒子（電子或空穴）被約束在固體材料中，這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上產(chǎn)生正負(fù)電荷的聚積，形成附加的橫向電場(chǎng)。

根據(jù)霍爾系數(shù)及其與溫度的關(guān)系可以計(jì)算載流子的濃度，以及載流子濃度同溫度的關(guān)系，由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能；通過(guò)霍爾系數(shù)和電阻率的聯(lián)合測(cè)量能夠確定載流子的遷移率，用微分霍爾效應(yīng)法可測(cè)縱向載流子濃度分布；測(cè)量低溫霍爾效應(yīng)可以確定雜質(zhì)補(bǔ)償度。與其他測(cè)試不同的是霍爾參數(shù)測(cè)試中測(cè)試點(diǎn)多、 連接繁瑣，計(jì)算量大，需外加溫度和磁場(chǎng)環(huán)境等特點(diǎn)，在此前提下，手動(dòng)測(cè)試是不可能完成的。

普賽斯儀表開(kāi)發(fā)的霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)幾千到至幾萬(wàn)點(diǎn)的多參數(shù)自動(dòng)切換測(cè)量，系統(tǒng)由S系列國(guó)產(chǎn)源表，2700矩陣開(kāi)關(guān)和S型測(cè)試軟件等組成。可在不同的磁場(chǎng)、溫度和電流下根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算出電阻率、霍爾系數(shù)、載流子濃度和霍爾遷移率，并繪制曲線圖。在半導(dǎo)體制程的晶圓基片和離子注入等階段，或者封裝好的霍爾器件需要做霍爾效應(yīng)的測(cè)試。

需要測(cè)試的參數(shù)：

電阻率

霍爾系數(shù)

載流子濃度

霍爾遷移率特性曲線

范德堡法

需要的儀器列表：

國(guó)產(chǎn)S型源表

開(kāi)關(guān)

變溫器

可變磁場(chǎng)

軟件

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