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            探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

    該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進(jìn)行檢測。

實驗腔體

腔體材質(zhì)：304不銹鋼

上蓋開啟：鉸鏈側(cè)開

內(nèi)腔體尺寸：φ140x180

加熱臺材質(zhì)：304不銹鋼

觀察窗尺寸：φ75

加熱臺尺寸：50x50

加熱臺溫度：室溫-350℃可調(diào)

加熱臺溫控誤差：±1℃

真空度：機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口：KF25

氣體進(jìn)氣口：3mm-6mm卡套接頭

進(jìn)氣閥門：高精密針閥

抽氣閥門：KF25真空擋板閥

壓力表：機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極：4個

 

探針數(shù)量：4個

探針材質(zhì)：φ1.5鎢針   其他材質(zhì)可選

探針移動平臺：X軸移動行程 實驗腔體