目錄:鄭州科探儀器設備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> KT-Z1650PVD小型離子濺射儀鄭州科探儀器
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
| 濺射氣體 | 根據需求氣體 | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 樣品臺尺寸 | φ50mm |
| 應用領域 | 化工,電子/電池 |
小型離子濺射儀鄭州科探儀器KT-1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節(jié)，及電動擋板功能。
小型離子濺射儀鄭州科探儀器KT-Z1650PVD 通過定時調節(jié)預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
小型離子濺射儀/噴金儀KT-Z1650PVD 廠家供應技術參數；
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
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