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?。保?/span>在G1?G2接觸子間放入微動(dòng)臺(tái)。

　２．先移動(dòng)G1接觸子、控制部表示値為行程量的一半

（－210～－220μｍ）時(shí)固定接觸子。

　３．接著移動(dòng)G2接觸子、控制部表示値為０μｍ時(shí)固定接觸子。

?。矗?/span>G1接觸子與微動(dòng)臺(tái)間放入1mm的厚度工具、取出后確認(rèn)控制部表示値。

　５．〔４．〕的作業(yè)重復(fù)２５次、最大値與最小値的差在0.5μｍ以內(nèi)。

?。叮?/span>G2側(cè)與G1側(cè)相同確認(rèn)重復(fù)精度。

   ７．G1側(cè)或G2側(cè)任一重復(fù)精度超過0.5μm時(shí)需再調(diào)整，重復(fù)[１．]～[６．]的作業(yè)。在范圍內(nèi)時(shí)進(jìn)行接下來的檢查。