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產品簡介
詳細介紹
尼康金相顯微鏡 L300N/L300ND
集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統(tǒng)，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。
大觀察樣品:
ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。
觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
使用CFI60光學系統(tǒng)，*消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；
物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求；
主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；
光亮調節(jié)、孔徑調節(jié)、物鏡轉換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產生疲勞；
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點
• 專為300mm晶圓和光罩檢測
• 利用更高的分辨率，對比度和透射CFI60光學系統(tǒng)
• 更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡
• 新光源和四次美好的透射照明，*的光學設計結果
•預中心的燈箱提供更高的亮度，同時僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦
• 電動物鏡轉換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍
應用 • 晶圓 • 液晶顯示器 • 其他各種檢查
兩種機型可供選擇：
• L300N：Episcopic照明類型
大樣品尺寸：300mm晶圓
*階段行程：354 x302毫米
放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標而定）
• L300ND：透射/ Episcopic照明類型
大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD）
*階段行程：354 x302毫米（透射照明范圍：354 x268毫米）
放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標而定）
各種各樣的觀測技術
各種各樣的觀測技術，如明場，暗場，簡單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發(fā)可應用于包括300mm晶圓和OLED檢查應用。
暗場觀察
新開發(fā)的暗場照明光學顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內樣品的劃痕和拓樸的檢測能力。
明場觀察
尼康CFI60系統(tǒng) - 一個成功合并的CF光學系統(tǒng)無限遠光學 - 高亮度，高對比度的圖像。
Nomarski DIC的觀測
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡單地插入物鏡轉換器單Nomarski棱鏡。 DIC的圖像清晰和與小的色調明快，即使在低放大倍率。 高對比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。
半兼容設計
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導體設備和材料協會（SEMI）為安全準則（S7 - 0703）和人體工程學（S8 - 1103）。 由于目鏡的位置更貼近運營商，不觸摸階段的運營商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。
防靜電更強有力的保障
靜電放電涂料已應用于身體的階段，鏡筒（L2 - TT2型），及各種控制。 這加強了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產提高。
固定位置的XY控制
XY精運動控制仍然接近運營商在相同的位置，使其不必要的運營商，以延長他或她的手臂，移動舞臺。 因為移動的標本和重點，可以進行一個手擱在桌子上，操作者可以重點觀察。
簡單的訪問控制
主要控制旋鈕和按鈕都位于前面的基礎，允許快速，操作簡便，同時觀看樣品，并盡量減少在漫長的觀測疲勞。
對焦目標
重點目標輕松地移動和光路允許在低對比度的樣品，如裸晶圓容易對焦。
長工作距離和高NA
趁著60毫米齊焦距離，新系列提供更長的工作距離，同時保持較高的數值孔徑。 CFI60提供圖像的亮度和易于操作。 此外，光為中心進行了改進，以盡量減少圖像的變化，改變物鏡時可能發(fā)生的的。
傾斜三目鏡筒
傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設置允許用戶設置自己的更佳視點水平，以確保舒適的觀賞姿勢。 兩種類型提供不同的觀察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。
以小的耀斑的高對比度
傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設置允許用戶設置自己的更佳視點水平，以確保舒適的觀賞姿勢。 兩種類型提供不同的觀察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。
CFI60光學
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡系列采用CFI60光學系統(tǒng) - 融合了尼康*的CF設計和尼康無限遠光學性能優(yōu)良。 CFI60提供高清晰度，對比度和透射率，并提供了世界上水平高的光學性能。 已經大大提高了圖像亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡，使得新系列，適合各種檢查。
■ 規(guī)格
型號 ECLIPSE L300 ECLIPSE L300N ECLIPSE L300ND
(反射照明型） (反射照明型） （透射/反射照明型）
基座 內置12V-100W鹵素燈光源；內置用于電動控制器的電源
用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、光圈葉片控制器
鼻輪 具備對中功能的電動通用六座物鏡轉換器
物鏡 CFI60系列物鏡
照明轉換器 — — 反射/透射切換器
調焦部分 對焦:行程29mm，粗調:12.7mm/轉(可扭距調節(jié).帶重新對焦機能)，
微調:0.1mm/轉(以um為單位)
反射照明 12V100W高亮度鹵素燈照明裝置，孔徑光闌（電動.可調心）、視場光闌（固定.帶對焦目標），可插入小孔光闌滑塊(OPTION)，可插入∮25mm 濾光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/檢偏器，觀察方法：明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光（僅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明 — — 12W100W高亮度鹵素燈
鏡筒 L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒（視角0～30°）
L2-TT 2A超大視場正立調傾式三目鏡筒（俯角0～30°）
目鏡 CFI目鏡
載物臺 14x12載物臺、行程354mmx302mm（透射觀察范圍：354mmx268mm）
帶粗/微動切換功能，微動手輪位置固定
防靜電 從1000到10V放電時間在0.2秒以內
耗電 1.2A/90W
尺寸 約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時）
尼康金相顯微鏡 L300N/L300ND