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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
MX61A金相顯微鏡
強(qiáng)大的缺陷檢查能力
采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場圖像的色溫更佳化，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。
觀察影像實(shí)例
明視場觀察
新暗視場觀察
傳統(tǒng)的暗視場觀察
自動調(diào)節(jié)亮度
亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。
對應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時AF
深紫外線觀察用物鏡
MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能*的動態(tài)AF。新開發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時對焦。
對應(yīng)多種觀察方法
物鏡UIS2系列產(chǎn)品
在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺顯微鏡上進(jìn)行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。
觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇就可以。
觀察影像實(shí)例
明視場觀察
暗視場觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
近紅外線觀察（左）和可見光線觀察（右）的比較
提供擴(kuò)展性的解決方案
提供擴(kuò)展性的解決方案
適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊
"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動載物臺等外圍設(shè)備。軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性，滿足了不斷變化的分析需求。
實(shí)現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準(zhǔn)），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒
傾斜觀察筒示意圖
備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。
潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
潔凈對應(yīng)的電動物鏡轉(zhuǎn)換器
備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器。
6孔和5孔中心補(bǔ)正型號的明暗視場電動物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。
高抗振本體
高倍率觀察圖像示意圖
采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況。
可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
手控開關(guān)操作部
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān)，可以在檢查時執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的合適的觀察影像。自動對焦的追蹤、單次拍攝的切換、對焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時的載物臺退出均可以執(zhí)行。
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
晶圓搬送機(jī)組合
晶圓搬送機(jī)
可以對應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實(shí)現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。
MX61A金相顯微鏡
自動載物臺組合
自動載物臺