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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS

UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS
  • UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS
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貨物所在地:山東青島市

地: 日本

更新時(shí)間:2024-12-28 21:00:07

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HORIBA日本堀場(chǎng)
日本INFLIDGE英富麗
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KOIKE日本小池
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IIJIMA日本飯島電子工業(yè)
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WOODPECKER日本三井
HOKUYO日本北陽
CITIZEN日本西鐵城
METROL日本美德龍
Mitutoyo日本三豐
RENISHAW英國(guó)雷尼紹
SHOWASOKKI日本昭和測(cè)器
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UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS
一種用于無損測(cè)量半導(dǎo)體晶片橫截面形狀尺寸的設(shè)備。您可以測(cè)量晶圓邊緣的尺寸,角度和半徑

UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS


目的,用途


UIH-3D通常,對(duì)半導(dǎo)體晶片,掩模玻璃等進(jìn)行目視檢查會(huì)發(fā)現(xiàn)劃痕,灰塵,內(nèi)部異物和氣泡。

發(fā)現(xiàn)需要技巧。開發(fā)該設(shè)備是為了方便進(jìn)行這些檢查。

通過用高強(qiáng)度的光照射物體(* 1),會(huì)產(chǎn)生切痕現(xiàn)象,并且會(huì)產(chǎn)生劃痕,灰塵等。

您可以檢查灰塵,內(nèi)部異物,氣泡等的附著力。

* 1半導(dǎo)體晶片,掩模玻璃,光學(xué)零件,透鏡等

一種用于無損測(cè)量半導(dǎo)體晶片橫截面形狀尺寸的設(shè)備。您可以測(cè)量晶圓邊緣的尺寸,角度和半徑UIH-3D

超高輝度検査用照明裝置(UIH-3D型)

目視検査用の超高輝度照明裝置

UIH-3D型仕様

ランプ定格100V 650W
設(shè)計(jì)照射徑と距離ランプ鏡筒先端から270mmでφ100mm
高輝度上記照射徑中央にて約30萬ルクス
50萬ルクス時(shí)の照射徑約φ80mm
倍徑時(shí)距離と輝度560mm 約7.5萬ルクス
輝度偏差と可変幅高輝度偏差:上限10%、下限20%  可変幅 10:1以上
高輝度ランプ壽命75時(shí)間以上
半輝度ランプ壽命1800時(shí)間以上
調(diào)光方式SCR制御(50/60Hz自動(dòng)切り替え)
ランプハウス內(nèi)冷卻ファンによる強(qiáng)制空冷方式
ランプハウス內(nèi)発熱監(jiān)視約130℃を超えるとランプを強(qiáng)制消燈
ランプハウス冷卻保持(※1)有り
電源AC100V セミトランス式
総重量約13kg

※1 ランプ保護(hù)の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
    ファンによる冷卻を保持する機(jī)能


撮像管タイプの半導(dǎo)體ウエハー斷面形狀等測(cè)定裝置(VSSW)をご使用のお客様に朗報(bào)!


半導(dǎo)體ウエハーの斷面形狀寸法を非破壊で計(jì)測(cè)するための裝置でエッジの寸法、角度、半徑を測(cè)定することが出來ます。
測(cè)定可能なウエハーサイズは約2~12インチで、ウエハー交換作業(yè)も容易に行えます


測(cè)定範(fàn)囲

大厚み約2000μm(※1)
深さ約1500μm

表示器19インチ液晶ディスプレイ
有効表示畫素?cái)?shù)768×494
データ保存媒體SD-RAM
操作方式ジョイスティック、スイッチ
測(cè)定機(jī)能寸法、角度、半徑
判定方式専用レファレンスパターンによる
印字方式プリンタ(※オプション)
使用環(huán)境

周辺溫度 10~30℃
濕度 80%以下で結(jié)露の無い環(huán)境
強(qiáng)磁気、強(qiáng)振動(dòng)、粉塵の無い環(huán)境

電源AC100V±10% 50/60Hz 150W(プリンタ含まず)


照明設(shè)備超高亮度檢查使用手冊(cè)

用于超高亮度檢查的照明裝置,型號(hào)名稱UIH(超高強(qiáng)度鹵素?zé)簦?/span>

感謝您購(gòu)買該系列。

請(qǐng)仔細(xì)閱讀本手冊(cè),以大程度地發(fā)揮儀器的性能。

§1。目的和整體構(gòu)成

該儀器是用于目視檢查的超亮照明設(shè)備。 UIH-1,2,3類型是常見的

用于目視檢查半導(dǎo)體晶片,掩模玻璃,光學(xué)部件等,表面劃痕,灰塵或內(nèi)部

通過照射高強(qiáng)度光來進(jìn)行潮汐檢測(cè),以發(fā)現(xiàn)零件中的異物和氣泡

(TYNDALL)它誘導(dǎo)大象并促進(jìn)發(fā)現(xiàn)。

1H型系列不同,用于檢查拋光晶片的霧度(霧量)和照射表面

這是投射第3條的檢查標(biāo)記的方法。

至于整體配置,所有這四種類型都分為兩部分,一個(gè)是燈箱,另一個(gè)是電源單元。要么

至于支架,電源部分中只有1(H)型是自支撐式的,而第二和第三類型則使用獨(dú)立的支架。

我是。各種類型的輻照直徑,高度和角度均可自由調(diào)節(jié)。

§2。儀器特點(diǎn)

本儀器使用由我們專門設(shè)計(jì)和調(diào)整的特殊高強(qiáng)度鹵素?zé)簟_@些

鹵素?zé)粼谑褂脮r(shí)具有用于照明,滅火和冷卻方法的先進(jìn)技術(shù)。

是必須的。即,如果忽略適合于燈的方法,則燈的壽命將大大縮短。因此電源

該零件旨在充分展示燈泡的功能。

鏡頭使用大直徑非球面鏡頭,并具有專門為此儀器設(shè)計(jì)的制造方法,其亮度也達(dá)到了

除了1H類型以外,由于將其設(shè)置為0.71至0.92,我們成功提高了亮度。 1個(gè)

與其他強(qiáng)調(diào)亮度的聚光鏡相比,將H型設(shè)定為具有強(qiáng)調(diào)成像的亮度。下屬

投影出具有良好分辨率的檢查標(biāo)記。此外,所有型號(hào)的設(shè)計(jì)輻射直徑幾乎都是平行的。

光束增強(qiáng)了檢查能力。

此外,應(yīng)采取所有可能的措施來散熱,尤其是對(duì)于類型2和類型3,要監(jiān)測(cè)燈室內(nèi)的發(fā)熱并發(fā)生異常。

產(chǎn)生熱量時(shí),燈泡將被強(qiáng)制關(guān)閉。另外,請(qǐng)參閱附件中的外形圖。

§3.仕様 本器の仕様は次の通りです。 尚、( )內(nèi)は1H型のみの仕様です。 名 稱 超高輝度検査用照明裝置 [Ultra Intensity Halogen-light] 形 式 UIH-1(H) UIH-2 UIH-3 ラ ン プ 定 格 15V 150W 100V 300W 100V 650W 高輝度壽命 50時(shí)間以上 75時(shí)間以上 75時(shí)間以上 半 輝 度 壽 命 800時(shí)間以上 1000時(shí)間以上 1800時(shí)間以上 反 射 鏡 徑 50mm徑放物線型ダイクロックミラー 同100mm徑 設(shè)計(jì)照射徑と距離 40mmφで180mm 70mmφで200mm 100mmφで270mm 設(shè)計(jì)照射徑輝度 上記中央で60萬lux(5萬lux) 同40萬lux 同30萬lux 50萬lux時(shí)照射徑 約 45mmφ 約 60mmφ 約 80mmφ

倍徑時(shí)距離, 輝度 360mm,15萬lux 400mm,10萬lux 560mm,7?5萬lux 輝度偏差と可変幅 高輝度偏差は上限10%、下限20%で可変幅は10:1以上 レ ン ズ φ=38 F=0.92 (F=2) φ=70 F=0.78 電 源 方 式 トランス式 セミトランス式 調(diào) 光 方 式 SCR位相制御 SCR制御で50/60Hz自動(dòng)切り替え ス タ ン ド 自立型 獨(dú)立型 冷 卻 方 法 強(qiáng)制空冷式 電 圧 表 示 メーター指示 ダイヤルにて設(shè)定 點(diǎn) 燈 方 式 ?????????に適した???????,???????方式 防熱フィルター なし 1段 発 熱 監(jiān) 視 なし 異常加熱(2型約100℃ 3型約130℃)により強(qiáng)制消燈 冷卻自動(dòng)スイッチ なし 消燈後一定溫度(約40℃)迄下がると自動(dòng)停止 合 計(jì) 重 量 7Kg 9Kg 13Kg 外 形 7ページ參照


如何組裝該儀器

如附圖所示,此系列對(duì)于三個(gè)參與方中的每個(gè)都有不同的形式。查看每種類型的圖紙

我將考慮考慮進(jìn)行解釋。

4-1組裝1(H)型在1(H)型中,電源單元也用作支架。

將較長(zhǎng)的軸插入電源的上法蘭,然后將底部和法蘭螺釘總共固定3個(gè)點(diǎn)。

我會(huì)。接下來,將短軸在任何位置擰入燈箱的底板,然后用夾具將其固定。

去做。此時(shí),請(qǐng)考慮重力平衡和燈罩的可加工性進(jìn)行組裝。抽水

將螺絲刀等插入門另一端的孔中以將其固定。連接器的電源插頭是電源

確保未連接并安裝完成。僅1(H)類型的大亮度

帶有調(diào)整修剪器。方法是將光量調(diào)節(jié)旋鈕“ INTENSITY"設(shè)置為“ MAXIMUM"。

將燈泡開關(guān)設(shè)置為“ LAMP ON"時(shí),將背面的“ SUB-INTE"設(shè)置為大電壓為15V。

設(shè)置在不超過的范圍內(nèi)。出廠時(shí)已將其調(diào)整為50Hz的12V。

4-2類型2的組件類型2分為三個(gè)部分:支架,電源和燈箱。

首先,考慮到重力平衡和可操作性,將軸安裝在機(jī)架上的三個(gè)孔之一中。

與1(H)型一樣,燈罩的軸固定在底板上,并帶有夾具。

將其固定到船尾。將電源放在支架上或支架上,連接連接器,然后完成。

我會(huì)。

4-3組裝類型3與類型2一樣,類型3分為支架,電源和燈罩。

我會(huì)。至于支架的組裝,與類型2一樣,豎立軸時(shí)要考慮平衡性和可加工性。

與其他類型不同,類型3燈罩特別大,因此請(qǐng)注意重量平衡。

請(qǐng)。組裝時(shí),將軸穿過燈箱底板上梯形金屬配件的孔,并用4個(gè)螺絲將其固定。

用夾具將其安裝到支架軸上。將電源放在支架上或支架周圍

連接Nector并完成


儀器的基本操作

由于照明方法的不同,本機(jī)的操作在類型1(H)和類型2和3之間有所不同。所有產(chǎn)品都是正確的

注意輪廓圖的照射距離和直徑。

5-1 1(H)型操作電源裝置中央的旋鈕“ INTENSITY"作為電源開關(guān)加倍,為“ PO"。

如果從“ WER OFF"將其向右旋轉(zhuǎn),您會(huì)聽到喀噠聲,并且指示燈會(huì)亮起,并且燈泡將被預(yù)熱并變暗。

我會(huì)。接下來,將光量選擇器開關(guān)從'STANDING BY'更改為'LAMP ON'和'INTENSITY'旋鈕。

您可以調(diào)節(jié)光量。當(dāng)燈熄滅時(shí),將光量選擇器開關(guān)設(shè)置為“ STANDING BY"以提高冷卻效果。

請(qǐng)?jiān)趲追昼姾蟆瓣P(guān)閉電源"以擺脫它。

5-2 2型和3型的操作2型和3型的操作非常容易,操作員可以打開電源開關(guān)。

您所要做的就是按下gar開關(guān)。首先,打開電源開關(guān)“ POWER"并運(yùn)行霓虹燈

Pu發(fā)出紅色光。然后按下觸發(fā)開關(guān)“ LAMP ON / OFF",“ MONITOR"燈將點(diǎn)亮。

它變成綠色,并且燈箱的燈同時(shí)點(diǎn)亮。在這種狀態(tài)下燈箱內(nèi)部異常

加熱時(shí),將“監(jiān)視器"更改為紅色,強(qiáng)行關(guān)閉燈泡,并在燈泡冷卻至一定程度時(shí)

此時(shí),紅色指示燈熄滅,可以再次打開。另外,如有必要,電壓調(diào)節(jié)器“ INTENSITY"

轉(zhuǎn)。 *電源電壓為AC100V時(shí),旋鈕位置約為9.5,這是高亮度。

要關(guān)閉燈泡,請(qǐng)?jiān)俅伟础?LAMP ON / OFF"按鈕以關(guān)閉燈泡。開啟或關(guān)閉時(shí)

關(guān)閉電源后,風(fēng)扇將繼續(xù)旋轉(zhuǎn),直到冷卻至一定溫度為止。冷卻進(jìn)度

“ MONITOR"將閃爍紅色,直到開關(guān)自動(dòng)停止。

5-3聚焦調(diào)整和亮度此項(xiàng)目與以前的型號(hào)相同。調(diào)焦位于燈箱的頂端

轉(zhuǎn)動(dòng)聚焦環(huán)進(jìn)行調(diào)整。放置工件并用光照射時(shí),會(huì)發(fā)出圓形光。

轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán),使其輪廓清晰可見。聚焦對(duì)于1H類型是否特別重要?

請(qǐng)注意照射直徑由聚焦環(huán)和照射距離決定,亮度由照射直徑和行程決定。

這取決于電壓。即,當(dāng)燈電壓恒定時(shí)的亮度與照射距離(面積)的平方相反。

成比例的。因此,如果優(yōu)先考慮亮度,則好將其設(shè)置為較小的直徑


用例和應(yīng)用

該儀器是用于目視檢查的超亮照明設(shè)備。通常半導(dǎo)體晶圓和塊

為了目測(cè)玻璃表面的劃痕和灰塵或內(nèi)部的異物和氣泡,請(qǐng)目視檢查玻璃等。

它要求非常高的技能。這些檢查被明亮的光線照亮

(TYNDALL)誘發(fā)現(xiàn)象并使任何人都容易進(jìn)行。

使用此設(shè)備的示例是不透明的鏡面,例如半導(dǎo)體晶片;(1)該表面暴露于一定角度的光下。

如何去除眼睛的反射光進(jìn)行檢查(2)對(duì)角向表面施加光并將反射光施加至白墻或

如何在白色天花板上投影,以及如何投影透明材料(例如玻璃)

可以同時(shí)檢查表面和內(nèi)部。另外,②使用特殊檢查方法在墻壁上使用特殊的篩網(wǎng)。

通過在樣品和樣品之間插入特殊的透鏡,可以進(jìn)一步改善效果。

當(dāng)然,這些只是一般用法示例,但是當(dāng)前情況是每個(gè)公司都使用自己的方法進(jìn)行檢查。

現(xiàn)實(shí)情況是它們本身被用作專有技術(shù)。我們建議您設(shè)計(jì)各種東西。

1H型在系列中有所不同,用于檢查拋光晶片的霧度(渾濁)量。 JIS-

在H0614的鏡面檢查方法中,采用投射燈絲的方法,但是1H

在模具中,投影了三個(gè)標(biāo)記而不是丘陵。由于此標(biāo)記的亮度不同

檢查是。也就是說,無法在的鏡面上看到該標(biāo)記,并且由于標(biāo)記不完整,因此看起來更好。

我會(huì)



另外,該標(biāo)記與周圍的亮度差異很大,易于進(jìn)行霧度檢查,并且除該標(biāo)記以外的其他周圍環(huán)境

由于用高強(qiáng)度光照射,因此可以同時(shí)進(jìn)行表面檢查。

§7。生活與光明

壽命是大亮度壽命和半亮度壽命的參考值,因此電源電壓

意味著它將波動(dòng)很大。另外,亮度與照射面積成反比,因此壽命長(zhǎng)。

如果您主要考慮的是,請(qǐng)盡可能減小照射面積,并隨燈電壓降低增加的亮度。

這將是有利的。為了延長(zhǎng)使用壽命,請(qǐng)降低燈泡電壓,并且不要將亮度提高到不必要的程度。

請(qǐng)這樣做。

§8。使用注意事項(xiàng)

本節(jié)介紹使用注意事項(xiàng),因此,請(qǐng)?jiān)诔浞掷斫夂笤偈褂煤荛L(zhǎng)時(shí)間。

1)燈泡是生活用品。要長(zhǎng)期使用,請(qǐng)降低燈泡電壓并集中使用。

是個(gè)好主意。不要忘記準(zhǔn)備備件! !!

1)我們已采取一切可能的措施從燈罩中產(chǎn)生熱量,但是特別是類型3產(chǎn)生的熱量為650W。

因?yàn)橛?,在一個(gè)小的暗室中室溫可能會(huì)升高。您需要足夠的冷卻

我們開始做吧。

3)由于長(zhǎng)期使用,燈箱周圍會(huì)產(chǎn)生一些熱量。調(diào)焦環(huán)

觸摸外殼時(shí)請(qǐng)小心。

4)指示燈點(diǎn)亮?xí)r,請(qǐng)勿強(qiáng)烈沖擊。當(dāng)然,它是嚴(yán)格堅(jiān)持運(yùn)動(dòng)的。

5)僅適用于2和3型,請(qǐng)?jiān)跓絷P(guān)閉后顯示“ MONITOR"燈時(shí)拔下電源插頭。

請(qǐng)不要成對(duì)拔出。當(dāng)溫度降至安全溫度時(shí),電源將自動(dòng)關(guān)閉。

6)在燈罩外蓋打開的情況下進(jìn)行照明會(huì)影響冷卻效果,并導(dǎo)致設(shè)備損壞。

請(qǐng)不要這樣做。

7)燈箱和電源是組合調(diào)整的,因此如果更改組合

不會(huì)滿足


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