HORIBA堀場HF密度計HF-960EM

用于半導(dǎo)體制造工藝的HF濃度計HF-960EM

 HF-960EM是使用帶有*潤濕部件的傳感器作為PFA的型號，并且符合半導(dǎo)體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準確性，并支持高達50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設(shè)置，HF濃度高達50％
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
內(nèi)置溫度測量傳感器支持高達80℃的HF樣品測量。 FS精度達到±0.5％。
自動量程功能
無污染/耐化學(xué)腐蝕傳感器
清潔結(jié)構(gòu)的傳感器，僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器，因此可以用于測量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)物質(zhì)。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，尺寸縮小了2/3，并且重量進一步減輕。通過將其安裝在單晶圓噴嘴的前面，可以提高安裝空間的靈活性

仕様