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HORIBA堀場(chǎng)TMAH濃度監(jiān)測(cè)儀HE-960H-TM 返回列表頁(yè)

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更新時(shí)間：2024-07-30 17:21:19瀏覽次數(shù)：808次

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HORIBA堀場(chǎng)TMAH濃度監(jiān)測(cè)儀HE-960H-TM
TMAH濃度監(jiān)測(cè)儀HE-960H-TM

詳情介紹

HORIBA堀場(chǎng)TMAH濃度監(jiān)測(cè)儀HE-960H-TM

總覽
控制顯影液TMAH的濃度
HE-960H-TM可以測(cè)量TMAH（四甲基氫氧化銨）的濃度，TMAH是半導(dǎo)體和液晶工藝中使用的光刻膠顯影劑的主要成分。傳感器FES-510系列適用于TMAH測(cè)量，因?yàn)樗哂袑挿秶鷮挾群透吣突瘜W(xué)性。
使用具有出色耐化學(xué)性的碳傳感器

特征
廣泛的支持
自動(dòng)切換顯示范圍
可以測(cè)量三種類型的TMAH濃度，電導(dǎo)率和溫度
使用耐化學(xué)腐蝕碳傳感器
傳輸輸出4通道
24V DC電源
符合RoHS的產(chǎn)品

仕様

形式	HE-960H-TM
測(cè)定方式	導(dǎo)電率測(cè)定－濃度換算
周囲使用溫濕度	溫度：－5～45℃、濕度：20～85%（結(jié)露しないこと）
電源	DC24V ±10% 10W（max）
保護(hù)構(gòu)造	パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部IP00（パネル取付屋內(nèi)設(shè)置型）
質(zhì)量	約550g
適合規(guī)格	CEマーキング、FCC Part15
適合センサ	FES-510シリーズ（流通型カーボンセンサ）