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低本底、自動化 | FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統
近期，我司新推出了FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統
在半導體行業(yè)芯片的生產過程中，環(huán)境的潔凈程度直接關乎產品的良品率。空氣中的分子污染物(AMC)是半導體生產工藝中最重要的化學污染之一，其中酸性物質(MA)、堿性物質(MB)是AMC污染物的重要組成部分，直接影響產品質量。
潔凈室AMC中酸堿性污染物的監(jiān)測主要是通過離子色譜分析儀，結合人工采樣、超純水吸收法等前處理過程。此監(jiān)測分析過程繁瑣低效，并可能引入人工污染的風險，導致監(jiān)測數據結果偏差。
FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統 應用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(MA)、堿性物質(MB)污染物的在線監(jiān)測系統。系統采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質量控制等全自動在線監(jiān)測功能，解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數據監(jiān)測頻率低、數據反饋不及時等問題。
性能特點
自控程度高
FAAS 8000ICS 實現了自動遠距離采樣、自動富集吸收、 自動質量控制、自動分析、數據自動上傳全流程自動化。避免人工誤差引入，數據準確可靠。
檢測能力強
大體積進樣濃縮，大幅提高系統檢測能力，檢出限可達亞ppt級，縮短系統運行周期。
監(jiān)測范圍廣
單套系統最多可配置32個點位的樣品采集；
系統通過真空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內樣品的在線監(jiān)測。
系統本底低
系統管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計，滿足SEMI F57中相關析出雜質的低本底控制要求。
吸收效率高
在線雙吸收模塊設計，提高樣品吸收效率，縮短系統運行周期。
應用領域
FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統主要應用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
應用案例
采用FAAS 8000ICS在線監(jiān)測潔凈室中的NH4+、SO42-、NO3-、NO2-、Cl-、F- 等六種離子濃度10天內變化情況。實驗結果與離線手動檢測結果一致，符合半導體潔凈室檢測要求。
