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針對半導體行業(yè)的安捷倫 ICP-MS解決方案
閱讀：907 發(fā)布時間：2023-8-29單四極桿 ICP-MS Agilent 7900 ICP-MS 在一臺緊湊的臺式單四極桿儀器中實現(xiàn)了高性能。它是一種 經(jīng)濟有效的解決方案，適用于測量制程化學品和低純度材料中的痕量污染。7900 具有處理大多數(shù)半導體樣品類型所需的高性能和靈活性，可配備用于分析納米 顆粒、有機溶劑和高腐蝕性酸的選件和附件。它是許多半導體公司的常規(guī)分析 儀器。
串聯(lián)四極桿 ICP-MS Agilent 8900 ICP-MS/MS 是世界上一款真正的串聯(lián)四極桿 ICP-MS ― 支持 MS/MS 和干擾消除能力。 操作的串聯(lián)質譜儀，可提供準確分析最高純度半導體材料所需的靈敏度 8900 #200 配置專門設計用于半導體應用，與安捷倫冷等離子體技術相結 合，能夠提供靈敏度。穩(wěn)健的等離子體、鉑尖接口錐和可選的惰性 (PFA) 樣品引入系統(tǒng)使其能夠輕松處理甚至最難以分析的半導體樣品和應用。 8900 體配置采用： 系統(tǒng)經(jīng)過專門設計，寬度僅有 1060 mm，可節(jié)省潔凈室臺面空間。其半導 – 四個氬氣管線質量流量控制器和第五條氣體管線，用于增加可選氣體（例如 用于有機物的 O2/Ar 或用于激光剝蝕的 He 載氣） – 預設等離子體條件，保證日常每個操作人員的設置一致 – 氬氣流路經(jīng)過專門設計，可減小硅和硫的背景信號，保證檢測限低 于 50 ng/L – 優(yōu)化的接口真空設計和新型高傳輸率“s"型離子透鏡，提供了高純度半導體 試劑超痕量分析所需的靈敏度 – 用于所有典型半導體應用的方法、調諧和采集模板，其中包括用于低基質樣 品（如超純水 (UPW) 和過氧化氫）的行業(yè)標準冷等離子體模式
