粗糙度儀極細(xì)孔?齒輪齒腹型測針——DM43811東京精密粗糙度儀測針
規(guī)格：測針針尖半徑——2μmR,，測針材質(zhì)——60° 圓錐金剛石,測針測力——0.75 mN
摘要：全姿勢
選擇東京精密產(chǎn)品——驅(qū)動
對位技術(shù)
為了不損害線性馬達(dá)的超低振動特性，安裝在X軸驅(qū)動部的手動進給機構(gòu)在實際測量時，自動將手動齒輪機構(gòu)與線性測量機構(gòu)的連結(jié)分離開來。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。
實現(xiàn)世界突破性的高速測量
線性驅(qū)動部與無效運動極少的以1/100秒為單位的聯(lián)合控制與啟動響應(yīng)相結(jié)合，大幅縮短了總測量時間。進行三維粗糙度測量時，測量時間為“傳統(tǒng)測量時間的1/10×測量線數(shù)"。測量時間短，室溫變化
等的測量誤差要素的影響就小，這直接關(guān)系到測量結(jié)果的可靠性。
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