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半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用）
應(yīng)對(duì)明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等，實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái)，能應(yīng)對(duì)大型樣本。
半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡MX61L
半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡MX61L
觀察影像實(shí)例
晶圓（明視場觀察） 晶圓（暗視場觀察）
晶圓（微分干涉觀察） 彩色濾色片（透射觀察）
半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機(jī)身一體型（明視場，暗視場＋1選件） | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場微分干涉6孔 | |
手動(dòng)式 | - | ||
載物臺(tái) | 行程 | 14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm） | |
觀察筒 | 廣角視場（視場數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
正像 | 三目觀察筒 | ||
超寬視場（視場數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
重量 | 51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
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