光路

有限校正光學(xué)系統(tǒng)

—

無限校正光學(xué)系統(tǒng)

BF(亮視場)

無限校正光學(xué)系統(tǒng)

BD(亮/暗視場)

無限校正光學(xué)系統(tǒng)

BF(亮視場)帶LAF功能

無限校正光學(xué)系統(tǒng)

BF(亮/暗視場)帶LAF功能

標(biāo)準(zhǔn)分劃板(內(nèi)置)

90o點(diǎn)劃線十字線(線寬5μm)

可調(diào)瞳距

西登托夫型調(diào)節(jié)范圍：51-76mm

光路切換比

觀察/TV顯微攝影=50/50

垂直傾斜角度

25°

傾斜

TV端口

作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供

觀察圖像

正像

目鏡

放大倍率

10X, 15X, 20X

物鏡

(可選)

可選單筒目鏡(配有一個(gè)目鏡)

或雙筒目鏡(配有兩個(gè)目鏡)

配備兩個(gè)10X目鏡

ML系列物鏡

1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X

-

BF(亮視場)

-

M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo

BD(亮/暗視場)

-

BD Plan Apo, BD Plan Apo SL

轉(zhuǎn)塔

(可選)

BF(亮視場)

-

(配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器)

BD(亮/暗視場)

-

(配有四孔手動(dòng)傳感器/電動(dòng)五孔傳感器)

聚焦部分

大工件高度

150mm

測量精度

(1.5+0.01L) μm L：測量長度(mm)

驅(qū)動(dòng)方式

使用控制手柄進(jìn)行電動(dòng)控制

照明裝置

透射照明裝置

遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?/span>(12V，50W)，100級光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明

反射照明裝置

科勒照明，可變孔徑光闌機(jī)制，鹵素?zé)襞?/span>(12V，100W)，100級光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明

工作臺(tái)

測量范圍（X*Y）

250×150mm

測量精度

(X和Y軸無負(fù)載)

(0.9+0.003L) μm L：測量長度(mm)

工作臺(tái)尺寸

460×350mm

載物玻璃有效尺寸

300×200mm

旋轉(zhuǎn)角度

±3o

大承重

30kg

驅(qū)動(dòng)方式

使用手柄進(jìn)行電動(dòng)控制

檢測器

高精度光柵尺

數(shù)顯

分辨力

0.01μm

顯示軸

X, Y, Z

數(shù)據(jù)處理裝置

QM-DATA200或Vision Unit

操作部分

手柄急停按鈕

可用

精細(xì)間距

可用

數(shù)據(jù)輸出

可用

數(shù)字顯示復(fù)位

可用

照明光強(qiáng)度控制

可用

LAF（只對焦）

-

-

可用

LAF（跟蹤對焦）

-

-

可用

轉(zhuǎn)塔控制

-

可用 (安裝電動(dòng)轉(zhuǎn)塔時(shí))

更換燈泡時(shí)，鹵素

燈泡用于透射照明

標(biāo)準(zhǔn)：02APA527(12V50W)

更換燈泡時(shí)，鹵素?zé)?/span>

泡用于反射照明

標(biāo)準(zhǔn)：517181(12V100W)

高亮度：12BAD602(12V100W)