日本三豐ULTRA QV404超高精度影像測(cè)量?jī)x
? ULTRA QV404 是實(shí)現(xiàn)了世界優(yōu)異測(cè)量精度E1XY=（0.25+L/1000）µm 的超高精度 CNC 影像測(cè)量系統(tǒng)。
? 為了將直線度誤差控制至*，X、Y、Z3軸移動(dòng)方式采用了高精度三坐標(biāo)等使用的空氣軸承。
? 通過(guò) FEM （有限要素法） 解析后的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了本體的高剛性化。

日本三豐ULTRA QV404超高精度影像測(cè)量?jī)x

日本三豐ULTRA QV404超高精度影像測(cè)量?jī)x

• ULTRA QV404 是實(shí)現(xiàn)了世界優(yōu)異測(cè)量精度E1XY=(0.25+L/1000)µm 的超高精度 CNC 影像測(cè)量系統(tǒng)。
• 為了將直線度誤差控制至*，X、Y、Z3軸移動(dòng)方式采用了高精度三坐標(biāo)等使用的空氣軸承。
• 通過(guò) FEM (有限要素法) 解析后的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了本體的高剛性化。
• 作為基準(zhǔn)的測(cè)長(zhǎng)方式采用了分辨力為 0.01µm的光學(xué)式線性編碼器。該編碼器的線性膨脹系數(shù)為零，將溫度變化產(chǎn)生的誤差控制到*限度。

規(guī)格

		ULTRA QV 404
測(cè)量范圍 (X×Y×Z)	400×400×200mm
放大倍率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)	PPT1X-2X-6X 分辨力 0.01 µm
長(zhǎng)度測(cè)量裝置	線性編碼器
影像測(cè)量方法	CCD 照相機(jī)
測(cè)量精度*1 *2 E1X, E1Y	(0.25+L/1000)µm
E1Z	(1.5+2L/1000) µm (測(cè)量范圍: 200mm) (1.0+2L/1000) µm (測(cè)量范圍: 10 - 60mm)
E2XY	(0.5+2L/1000)µm
照明裝置 *3	同軸照明/ 透射照明/ 程控環(huán)形照明
工作臺(tái)玻璃尺寸	493×551mm
臺(tái)面*承重 *4	40kg
尺寸 (W×D×H)	1172×1735×1910mm
重量 ( 包括機(jī)器設(shè)置臺(tái) )	約 2150kg

 *1 L = 任意 2 點(diǎn)之間的尺寸 (mm)

*2 依據(jù)三豐公司的檢查方法。

*3 冷光源照明用鹵素?zé)襞莺凸饫w

*4 不包括極端的載重、集中載重。