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詳細介紹
三豐Hyper MF-U高精度全自動工具測量顯微鏡
三豐Hyper MF-U高精度全自動工具測量顯微鏡
•自動化且精度最高的測量顯微鏡 (*顯示分辨力 0.01um)。
• 主機的前臺操作設計是基于 UD( 通用化設計 )的理念。
• 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了*的變化，即使在快速運動的過程中也能進行精細定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學管路或帶內置激光自動對焦功能的光學管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為 250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數頭。
• 暢銷的數據處理裝置 QM-Data200 和 Vision Unit可結合使用，提供有效且穩(wěn)定的測量環(huán)境。
• 晶片夾持器 (可用于小于 8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動轉塔型擁有回縮功能，該功能在*換物鏡時啟動工作。
規(guī)格
型號 | Hyper MF-B2515B | Hyper MF-UB2515B | Hyper MF-UD2515B | Hyper MF-UE2515B | |
貨號 | 176-420* | 176-421* | 176-422* | 176-423* | |
觀察類型 | BF | BF | BF或BF/BD | BF | |
數碼自動對焦功能 | 一 | 一 | 一 | 有 | |
XY工作臺移動范圍 | 250*150mm | 250*150mm | 250*150mm | 250*150mm | |
測量裝置 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | |
分辨率 | 0.01um | 0.01um | 0.01um | 0.01um | |
測量精度(20oC時) | (0.9+3L/1000)μm, L為XY軸無負載測量長度(mm) | ||||
驅動系統(tǒng) | 帶操縱桿的電動驅動控制 | ||||
XY工作臺臺面尺寸 | 460*350mm | 460*350mm | 460*350mm | 460*350mm | |
載物玻璃有效尺寸 | 300*200mm | 300*200mm | 300*200mm | 300*200mm | |
旋轉功能 | ±3o | ±3o | ±3o | ±3o | |
工件重量 | 30kg | 30kg | 30kg | 30kg | |
工件高度 | 150mm | 150mm | 150mm | 150mm | |
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