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OAI 659光刻紫外線照度計適用于半導體、面板制程的曝光機紫外線能量分析和測量。
過去45年來，OAI是一個UV 光及能量量測儀器的世界領導制造商，提供紫外線的檢驗，光學技術，光電，微機電等測試設備。OAI在全球使用中的精密儀器有數千臺之多，從紫外線強度、動力儀表到輻射計和太陽能光強度儀表，提供長期性能最高具可靠性和價值的廣泛儀表和儀器設備與校正服務。

OAI 659光刻紫外線照度計專門設計用于所有步進式光刻機，包括高強度步進式光刻機。該儀表平均可達到400個曝光讀數，具有以太網和USB接口，用于下載記錄測量的數據，并且強度范圍可高達7500MW/cm2。探頭的波長為365nm、400nm、420nm和436nm。

OAI 659光刻紫外線照度計

（一）儀表規(guī)格

用戶界面：觸摸屏

計算機接口：可選以太網和USB下載記錄測量的數據

電源：電池采用可充電的3.7V鋰離子電池并有充電保護

充電器電源：100-240 VAC

顯示設置：2個屏幕

1設置屏幕-以太網地址、日期和時間

2運行屏幕–波長、強度、時間、劑量、探頭溫度，探頭類型，偏差百分比，串行編號、校準到期日、電池狀態(tài)、探針序列號和充電器狀態(tài)。

內存存儲：多400個讀數

強度范圍：高達7500MW/cm2

強度分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：高達1000 J/cm3

劑量分辨率：0.01mJ/cm3

時間范圍：長9999秒

時間分辨率：0.0001秒

小劑量暴露25m秒

尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量：3.5磅

工作環(huán)境溫度：15–40度

符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

(二)探頭規(guī)格

選項：非補償溫度探頭

探頭檢測器：硅光電二極管

可用波長（nm）365、400、420、436

過濾器：多層吸收/介質

強度范圍：7500MW/cm2

合規(guī)性：ROHS2和CE（EMC和安全）