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型號 | Altia 350 | Altia 600 | Altia Premium 350 | Altia Premium 600 |
測量范圍 | 370mm | 620mm | 370mm | 620mm |
應用范圍 | 470mm | 720mm | 470mm | 720mm |
垂直度誤差 | 15µm | 20µm | 8µm | 12µm |
zui大允許誤差 | 15µm | 20µm | 3+L(mm)/175µm | |
重復度 | 2µm | 2µm | ||
操作時間 | 100小時 | 40小時 | ||
標準測力 | 0.8N | |||
分辨率 | 0.001µm | |||
zui大移動速度 | 1m/秒 | |||
數(shù)據(jù)輸出接口 | RS232C | |||
氣浮 | 無 | 有 | ||
環(huán)境溫度 | +10ºC - +40ºC |
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