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Surtronic S - 116 采用差動(dòng)電感式位移傳感器,這一技術(shù)是實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量的基石。其工作原理基于電磁感應(yīng)現(xiàn)象,當(dāng)帶有金剛石測(cè)針的傳感器在被測(cè)表面移動(dòng)時(shí),測(cè)針隨表面微觀輪廓的起伏而上下位移。這種位移變化會(huì)導(dǎo)致傳感器內(nèi)部電感量的改變,通過(guò)精密的電路將電感變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。測(cè)針垂直分辨率高達(dá) 5nm,能敏銳捕捉到表面極其細(xì)微的高度變化,線(xiàn)性度誤差≤±0.1% FS,為精準(zhǔn)測(cè)量提供了堅(jiān)實(shí)保障,嚴(yán)格滿(mǎn)足 ISO 4287:2017 標(biāo)準(zhǔn)對(duì) Ra 參數(shù)的計(jì)量級(jí)測(cè)量要求。標(biāo)準(zhǔn)配置的金剛石測(cè)針針尖半徑為 5μm,同時(shí)還提供 2μm/10μm 規(guī)格可選,可根據(jù)不同測(cè)量需求靈活適配,如在測(cè)量超精密表面時(shí),2μm 針尖半徑的測(cè)針能更細(xì)膩地反映表面微觀特征。