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貨物所在地：北京北京市
更新時(shí)間：2024-11-08 21:00:07
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STACISIII是zui*的主動(dòng)振動(dòng)隔離系統(tǒng)。采用*的慣性振動(dòng)傳感器，復(fù)雜的控制算法，和zui*的壓電致動(dòng)器。STACIS通過連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)、擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過濾地板振動(dòng)來進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動(dòng)。
zui初被設(shè)計(jì)用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。
STACIS III包括一個(gè)新型改進(jìn)的數(shù)字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型雙核處理器，以太網(wǎng)和USB串口，這個(gè)新型*控制系統(tǒng)為用戶提供了一個(gè)現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。
擁有在世界各地的數(shù)百個(gè)成功安裝案例，STACIS對(duì)于大部分振動(dòng)敏感儀器來說都是zui理想的振動(dòng)消除系統(tǒng)。
性能規(guī)格
| 自由度范圍 | 6 |
| 帶寬范圍 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動(dòng)的固有頻率 | 18 Hz vertical and horizontal |
| 有效共振頻率 | 0.5 Hz |
| 隔離在 1 Hz | 40% - 70% |
| 隔離在 ≥2 Hz | ≥90% |
| 10 lb (4.5 kg) 步進(jìn)后的沉淀時(shí)間 (10:1 reduction) | 0.3 sec |
| 內(nèi)部噪聲 | <0.1 nm RMS |
| 每個(gè)隔離器的工作負(fù)載范圍 | Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg) Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg) |
| 每個(gè)隔離器的靜態(tài)提升能力 | 9000 lbs (4090 kg) |
| 硬度(1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator) | 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) |
| 磁場(chǎng)從隔離器大4英寸（102毫米）處發(fā)射 | <0.02 μG broadband RMS |
隔離器設(shè)計(jì)，尺寸以及環(huán)境和實(shí)用要求
| 環(huán)境和安全 | CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
| 主動(dòng)隔離元素 | 高壓壓電致動(dòng)器，接收來自高電壓放大器的信號(hào)，輸出功率高達(dá)800伏特 |
被動(dòng)隔離元素 | 單剛性各向同性彈性體(不需要壓縮空氣供應(yīng)) |
| 振動(dòng)傳感器的元素 | 向下面對(duì)檢波器類型的慣性傳感器，測(cè)量隔離器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成比例的電壓 |
| 積極的反饋控制回路 | 對(duì)支撐隔震面的彈簧下的地板振動(dòng)進(jìn)行測(cè)量、處理和衰減 |
隔離器尺寸 (DxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 in. 300 x 320 x 275 mm |
| 隔離器重量 | 75 lb (34 kg) |
| 工作溫度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 儲(chǔ)存溫度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 濕度(操作) | 30 - 60% |
| 系統(tǒng)功率需求 | 100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE compliant |
| 地板位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hz |
隔離器數(shù)/系統(tǒng) | 少3個(gè) |
| 附件 | 夾層不銹鋼平臺(tái)，框架，立管，矯直裝置，地震抑制裝置，吊具 |
DC-2020 控制器規(guī)格
| 尺寸 (DxH) | 19 x 8.5 x 1.75 in. 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3 lb (2.9 kg) |
| 處理器 | 150/75 MHz dual core |
| 采樣率 | 10 kHz |
| 模擬輸出 | 16 channels |
| 模擬輸入 | 16 channels |
| 狀態(tài)燈 | single LED |
| 前面板接口 | 1x serial USB 2.0 1x serial Micro-USB 1x Ethernet RJ-45 2x BNC |
| 后面板接口 | 1x serial USB 2.0 1x Ethernet RJ-45 1x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolators |
| 用戶界面 | 前面板液晶顯示器 超級(jí)終端上的字符菜單 針對(duì)Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI |
在VC-C（500μin。/ s，12.5μm/ s RMS）下模擬振動(dòng)測(cè)試4500磅（2045 kg）
更多詳細(xì)信息請(qǐng)！
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