有氧退火爐

案例：藍寶石有氧退火爐

藍寶石 (Sapphire) 是一種氧化鋁 ( α- Al₂O₃) 的單晶，又稱為剛玉。 藍寶石晶體具有優(yōu)異的光學性能、機械性能和化學穩(wěn)定性，強度高、硬度大、耐沖刷，可在接近 2000 ℃ 高溫的惡劣條件下工作，因而被廣泛的應用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強度激光的窗口材料。其*的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學性能、良好的熱學性能使藍寶石晶體成為實際應用的半導體 GaN/Al₂O₃ 發(fā)光二極管 (LED) ，大規(guī)模集成電路 SOI 和 SOS 及超導納米結(jié)構(gòu)薄膜等理想的襯底材料。

在藍寶石襯底的切割、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中，盡管部分的加工應力會在下一道加工工序釋放，但是這種應力釋放是無序釋放，同時未釋放的加工應力會在晶片表面集聚，影響藍寶石晶片的翹曲程度，嚴重的翹曲會在后道加工過程產(chǎn)生破片，影響整個加工循環(huán)的晶片質(zhì)量。 藍寶石襯底在加工過程中，必須經(jīng)過退火處理以降低加工應力。

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藍寶石晶棒退火（有氧退火）

• 去應力：使藍寶石便于加工，切屑。
• 消除應力集中，避免晶體自動開裂，以及加工中產(chǎn)生裂紋、爆口等。
• 退火溫度以達到其熔點附近為佳，升溫速率不宜過快，直徑越大，保溫時間應越長；降溫時間應大于升溫時間，避免再次產(chǎn)生應力。                                                             

去色心：使藍寶石更透明，透光更好。

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