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VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經(jīng)成功開發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新一代的VEGA給用戶帶了   新的技術優(yōu)勢，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，使VEGA系列產(chǎn)品保持著非常高的性價比。

LaB6發(fā)射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?；谄浞浅８叩陌l(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應用領域的正確選擇。

現(xiàn)代電子光路

• *的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式
• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器"
• 透鏡與線圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態(tài)扭曲效應
• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
• 鏡筒設計提供了全自動電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構
• 3維電子束技術提供了實時立體圖像

檢修方便

只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于   佳狀態(tài)。每個細節(jié)設計得很仔細，使得儀器的效率   大化，操作   簡化。

自動操作

通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內(nèi)置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

用戶界面友好的軟件

• 用戶界面有各種語言版本
• 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權利使常規(guī)分析過程更快
• 圖像文件管理與報告生成
• 內(nèi)置的自動系統(tǒng)檢查
• 通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)電鏡遠程診斷
• 模塊化軟件體系結構
• 標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等
• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等

VEGA3 GM

VEGA3 GM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。

VEGA3 XM

VEGA3 XM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。

VEGA3 LM

VEGA3 LM是一款由計算機控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款掃描電子顯微鏡（SEM）與X-射線能譜儀（EDS）的一體化系統(tǒng)，其具有圖像質(zhì)量高，自動化程度高，操作簡單，能實時快速進行元素分析等特點。另外，可變真空模式下，用戶可以在自然狀態(tài)下觀測不導電樣品。

VEGA3 SB