產(chǎn)品名稱:BILZ電子氣動位置控制EPPC
產(chǎn)品型號:EPPC
產(chǎn)品介紹:
用于高度動態(tài)和振動敏感的機器和儀器的實時液位控制。
EPPC實時液位控制可實現(xiàn)+/-10µm的生產(chǎn)精度,并顯著減少偏轉和沉降時間,以響應動態(tài)負載變化基于智能瀏覽器的用戶界面,用于設置、診斷和監(jiān)控。
電子氣動位置控制EPPC為高精度機器、高度動態(tài)和振動敏感的測量機器、顯微鏡以及測試和生產(chǎn)機器提供好的振動隔離。
EPPC可以與三到六個BiAir薄膜空氣彈簧控制組組合,以控制多達六個自由度。Bilz為系統(tǒng)設計提供各種不同尺寸的空氣彈簧。
電子氣動液位控制系統(tǒng)與BiAir薄膜空氣彈簧相結合,可實現(xiàn)位置精度,并減少動態(tài)負載變化時的偏轉和沉降時間。
性能特點:
• 位置精度(+/-10µm)
• 可單獨調節(jié)的系統(tǒng)參數(shù)(如阻尼)
• 響應荷載變化的短撓度和沉降時間
• 每個自由度一個高性能伺服閥和一個位移傳感器
• 采用CAN總線技術的優(yōu)化連接系統(tǒng)
• 基于瀏覽器的智能用戶界面,用于設置、診斷和監(jiān)控,通過以太網(wǎng)連接,可進行遠程維護
• 操作員狀態(tài)顯示(例如準備就緒、工作位置、動作完成、錯誤)
• 用于外部控制和監(jiān)控的數(shù)字I/O接口
• 高分辨率信號處理和伺服閥技術帶來的無噪聲控制
• 堅固可靠的空氣彈簧技術,可與Bilz BiAir®薄膜空氣彈簧結合使用
• 無干擾發(fā)熱、磁場波動或電磁執(zhí)行器的高功耗
技術參數(shù):
• 典型系統(tǒng)負載:800 kg–120.000 kg
• 垂直固有頻率:1,2–2,5 Hz
• 水平固有頻率:2,2–2,8 Hz
• 控制類型:伺服氣動
• 適合潔凈室:是
• 通信接口:以太網(wǎng)、數(shù)字I/O
• 產(chǎn)地:德國
-傳感器分辨率:
• 位移測量系統(tǒng):0.76µm
• 壓力傳感器:0.36毫巴
• 采樣率傳感器信號:1 kHz(過采樣后)
產(chǎn)品應用:
• 高精度機器
• 振動敏感和高度動態(tài)的測量機
• 顯微鏡
• 半導體行業(yè)的測試和生產(chǎn)機器
產(chǎn)品結構與細節(jié)