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真空等離子體清洗設備模型和配置,有效的等離子體處理

閱讀:1765        發(fā)布時間:2017-11-20

   真空等離子體清洗設備是一種有效的等離子體處理,有一個特大的腔室進行批量處理,它是一種成本和空間效率高的真空等離子處理機器,用于處理各種部件和部件.

     SPV型真空等離子體清洗系統(tǒng)是臺式的,*獨立的,需要zui小的工作臺空間。該系統(tǒng)的底盤有等離子室、控制電子、13.56 MHz的射頻發(fā)生器和自動匹配網絡(只有真空泵是系統(tǒng)外部的)。維護訪問是通過一個相互連接的門或可移動的面板提供的。等離子體腔體支持7個可移動和可調節(jié)的動力或接地的架子,以適應各種各樣的部件、組件和包括雜志、托盤和船只在內的部分載體。真空等離子體處理系統(tǒng)可以容納大量的過程氣體,包括氬、氧、氫、氦和氟化氣體。這兩種模型都帶有兩個電子質量流控制器以達到的氣體控制,另外兩個可以隨意選擇(4個總zui大值)。用于驗證過程中使用的定期校準要求的便利設施連接。

真空等離子體清洗設備模型和配置,有效的等離子體處理

   SPV真空等離子體清洗系統(tǒng),前訪問允許方便地訪問所有內部組件。該泵的定位是滾軸,便于拆卸。該等離子體室由11個規(guī)格的不銹鋼材料制成,具有堅固耐用的耐用性。該房間有多個可移動和可調節(jié)的架子,以容納各種各樣的航空公司,包括雜志、托盤、威化和船只。采用可選高吞吐量貨架的SPA等離子處理系統(tǒng),結合了等離子處理系統(tǒng)的可靠性和工藝質量,并證明了*的貨架設計的優(yōu)點,優(yōu)化了在射頻等離子體中發(fā)現的活性離子的使用,提高了處理均勻性,同時降低了工藝時間,等離子處理系統(tǒng)允許從一系列的過程氣體中選擇,如氬、氫和氦。該標準配備了4個質量流量控制器,用于*氣體控制。有槽的雜志是垂直放置在房間內的。

真空等離子體清洗設備模型和配置,有效的等離子體處理

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   此外,開槽的空隙可以垂直放置在腔體內。一般來說,每個腔體至少有20個鉛框架。根據真空等離子機腔體的大小,等離子室可以容納多達12個腔體空隙。

   等離子體SPC-1500真空等離子體清洗設備是一種有效的等離子體處理,有一個特大的腔室進行批量處理。它是一種成本和空間效率高的真空等離子處理機器,用于處理各種部件和部件。它是*獨立的,并且需要zui少的地面空間。泵、室、控制電子和13.56 MHz的射頻發(fā)生器都包含在它的外殼內。等離子體處理設備也提供滑出水平的貨架,便于裝卸。它的緊湊和服務友好的設計有一個小的占地面積,并且是為系統(tǒng)的前后維護而設計的。因此,可以將多個真空等離子體處理系統(tǒng)并排放置,以zui大限度地利用地板空間利用率。該泵的定位是滾軸,便于拆卸。

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