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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，zui簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。同時增加了熱蒸發(fā)附件，具有濺射和蒸發(fā)兩種功能。
滿足電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備和非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
特點(diǎn)：
增加了熱蒸發(fā)附件，可以蒸發(fā)碳絲，具有濺射和蒸發(fā)兩種功能。因此擴(kuò)展了應(yīng)用范圍，特別適用于掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室樣品制備。
配置參數(shù)：
- 儀器尺寸 ： 400mm×300mm×400mm（L×W×H）
- 真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）
- 靶（上部電極）： 50mm×0.1mm（D×H）
- 樣品臺： 50mm （D）
- 操作真空： 4×10-1mbar至2×10-2mbar
- 工作電壓： 0-1600V （DC）可調(diào)
- 濺射電流： 0-50mA
- 濺射定時： 1-9999S
- 蒸碳電流 0-10A（AC）
- 真空泵： 4升兩級機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（極限真空2×10-2mbar）