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四探針電阻測試儀
四探針方塊電阻測試儀 軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,
同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度 四探針方塊電阻測試儀
四探針電阻測試儀技術(shù)指標(biāo)
1.方塊電阻范圍:10-4~2×103Ω/□
2.電阻率范圍:10-5~2×104Ω-cm
3.測試電流范圍:10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式: 普通單電測量
四探針電阻測試儀技術(shù)指標(biāo)描述:
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn):
硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍:
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具;液晶顯示,自動測量和系數(shù)補償,并帶有溫度補償功能,自動轉(zhuǎn)換量程;采用AD芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數(shù)據(jù),生成報表
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