四探針電阻率測試儀示值基本誤差的檢定有兩種檢定方法，用標(biāo)準(zhǔn)樣片的整體檢定方法和用模擬電路的分部件檢定法?？捎闷渲腥魏我环N方法進(jìn)行檢定。用硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)樣片對(duì)電阻率測試儀進(jìn)行整體檢定注：一般分為方塊電阻檢定和電阻率檢定，對(duì)于只能測量方塊電阻的測試儀就對(duì)該儀器進(jìn)行方塊電阻檢定。對(duì)于既能測試方塊電阻又能測電阻率的電阻率測試儀，可對(duì)電阻率進(jìn)行檢定。如果用戶提出只對(duì)方塊電阻進(jìn)行檢定也可以只檢方塊電阻。

檢定的四探針電阻率測試儀應(yīng)作絕緣電阻的測量。在儀器的探針之間或探針與儀器外殼之間可用遙表或其它方法測量其絕緣電阻，測量時(shí)工作電壓為（100～500）V, 絕緣電阻值不得低于500MΩ。檢定的電阻率測試儀，可進(jìn)行絕緣強(qiáng)度即耐壓試驗(yàn)，要求電流輸入端與機(jī)殼間應(yīng)能承受1500V(有效值)交流電壓，歷時(shí)1min，無擊穿與飛弧現(xiàn)象。對(duì)此項(xiàng)試驗(yàn)由送檢單位提出申請(qǐng)后方可進(jìn)行，如未做耐壓試驗(yàn)則應(yīng)在檢定證書上注明。 

將被檢儀器的電流值調(diào)到標(biāo)準(zhǔn)樣片允許通過作用的電流值以內(nèi)，對(duì)12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行測量，每個(gè)樣片在反電流的情況下各測10次，每正反向測量一次將樣片轉(zhuǎn)動(dòng)20°～30°，共計(jì)沒得20個(gè)數(shù)據(jù)。通常以電壓表讀數(shù)在10mV左右。用標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定四探針電阻率測試儀，由檢定結(jié)果中找出zui大的相對(duì)誤差，如果zui大相對(duì)誤差超過儀器標(biāo)定的準(zhǔn)確度，則說明儀器超差。分部件檢定的電阻率測試儀。對(duì)于檢定后的各項(xiàng)指標(biāo)都合格的電阻率測試儀，出具檢定合格證書。在證書中注明標(biāo)準(zhǔn)樣片的實(shí)際值和測量值，給出測量的誤差值，給出探針頭的修正系數(shù)。

如果要求給出全部探針指標(biāo)，也可近十萬大山要給出全部探頭指標(biāo)，若探頭為不合格，則必須指出哪項(xiàng)指標(biāo)或n項(xiàng)指標(biāo)不合格。對(duì)自動(dòng)或半自動(dòng)電阻率測試儀，只要有一項(xiàng)功能不合格要求時(shí)，就按不合格儀器處理。對(duì)于檢定后的有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格的電阻率測試儀，出具檢定結(jié)果通知書并在通知書中注明不合格項(xiàng)目。此外在檢定證書或通知書中一股不用給檢定總不確定度，若用戶需要可滿足用戶要求。但必須注明，檢定時(shí)的溫度、、相對(duì)溫度及實(shí)驗(yàn)室條件等項(xiàng)目。對(duì)檢定后不合格的電阻率測試儀經(jīng)修理后仍需要重新按檢定要求檢定。檢定周期電阻率測試儀的檢定周期一般不超過1年，送檢時(shí)需要攜帶上一次檢定證書。