導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀的主要指標(biāo)如下：

　　1.測(cè)量范圍：電阻率10-3—103Ω-cm，分辯率為 10-4Ω-cm ，可擴(kuò)展到105Ω-cm

　　方塊電阻10-2—104Ω/□，分辯率為10-3Ω/□，可擴(kuò)展到106Ω/□

　　薄層金屬電阻10-4—105Ω，分辯率為10-4Ω

　　2.可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm; 長(zhǎng)度：150mm(可擴(kuò)展500mm)

　　3.測(cè)量方式：軸向、斷面均可

　　4.數(shù)字電壓表：(1)量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V

　　(2)測(cè)量誤差：±0.3%讀數(shù)±1字

　　(3)輸入阻抗：大于108Ω

　　(4)顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管(LED)數(shù)字顯示

　　0---1999具有極性、過(guò)載、小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示

　　5. 恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能

　　(1)直流電流：0—100mA連續(xù)可調(diào)

　　(2)量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

　　(3)分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

　　(4)電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

　　6.電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標(biāo)

　　7 .測(cè)試探頭：(1)探針機(jī)械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標(biāo)