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HORIBA STEC SEC-Z522MGX質(zhì)量流量控制器
高精度
快速響應(yīng)
自動(dòng)調(diào)零
任意角度安裝
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HORIBA STEC SEC-Z522MGX質(zhì)量流量控制器
HORIBA STEC SEC-Z522MGX質(zhì)量流量控制器
概要
- 高精度
- 快速響應(yīng)
- 自動(dòng)調(diào)零
- 任意角度安裝
特征
- 高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項(xiàng)式近似曲線實(shí)現(xiàn)線性補(bǔ)償。此功能實(shí)現(xiàn)量程上的高精度。為了真實(shí)的反應(yīng)實(shí)際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測(cè)了不同的工藝氣體創(chuàng)建了針對(duì)不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標(biāo)準(zhǔn)氣體管理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)氣體精度確認(rèn)。 - 高速響應(yīng)
裝載“變量PID系統(tǒng)”可實(shí)現(xiàn)兩設(shè)定點(diǎn)之間1秒內(nèi)快速響應(yīng)。變量PID基于流量設(shè)定點(diǎn)而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會(huì)影響PID功能。
規(guī)格
質(zhì)量流量控制器型號(hào) | *1 | SEC-Z512KX | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX | ||
SEC-Z512X | SEC-Z522XN | SEC-Z522X | |||||
質(zhì)量流量計(jì)型號(hào) | *1 | SEF-Z512KX | SEF-Z512MGX | SEF-Z522MGXN | SEF-Z522MGX | ||
SEF-Z512X | SEF-Z522XN | SEF-Z522X | |||||
全量程流量 （氮?dú)廪D(zhuǎn)換流量） |
1/2 SCCM | MR/MG 編號(hào)#R1.5: 17.5 SCCM #1.5: 55 SCCM #2.5: 175 SCCM #3.5: 550 SCCM #4.5: 1.75 SLM #5.5: 5.5 SLM | #R01: 10 SCCM #01: 30 SCCM #02: 100 SCCM #03: 300 SCCM #04: 1 SLM #05: 3 SLM #06: 10 SLM |
MR/MG 編號(hào)#6.5: 22 SLM #07: 30 SLM #08: 50 SLM | |||
閥類型 | O: 全開 C: 全閉 | ||||||
閥全閉時(shí)流量 | ≤ 2%F.S | ||||||
流量控制范圍 | 2~* F.S | ||||||
流量監(jiān)測(cè)范圍（SEF） | 0~* F.S | ||||||
精度 | *2 | ±1.0% F.S | ±1.0% S.P. (設(shè)定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (設(shè)定流量≤ 25% F.S.) | ||||
工作溫度 | 5 ~ 50°C (推薦溫度范圍: 15 ~ 45°C) | ||||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 秒: 流量控制范圍 | ||||||
線性 | ≤±0.5%F.S | ||||||
重復(fù)性 | ≤±0.2%F.S | ||||||
工作壓差 | 50 ~ 300 kPa (d) | 50 ~ 300 kPa (d) #5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d) | 200 ~ 300 kPa (d) | ||||
工作壓差（SEF） | ≤ 300 kPa (d) | ||||||
大工作壓力 | 450 kPa (g) | ||||||
大承受壓力 | 1000 kPa (g) | ||||||
外漏 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | ||||||
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1 ~ 5 V DC (2% ~ F.S); 輸入阻抗1MΩ或更高 | ||||||
流量輸出信號(hào) | 0 ~ 5 V DC (0% ~ F.S.); 小負(fù)載電阻2kΩ或更高 | ||||||
數(shù)字接口 | 具備地址功能n: RS-485 (傳送速率 38,400 bps) F-Net 協(xié)議 | ||||||
內(nèi)部接觸表面 | 316L 不銹鋼 (表面拋光) | ||||||
電源供應(yīng) |
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| +15V 5% 150mA | -15V 5% 150 mA |
| ||
信號(hào)響應(yīng) | 模擬式: D-Sub 9-pin (頂部) 數(shù)字式: 2 LAN jacks (頂部) | ||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | *3 | 1/4 英寸 VCR 相當(dāng) 可選: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS | 1/4 英寸 VCR相當(dāng) 可選: 1.125英寸 IGS | 1.5英寸 IGS | |||
安裝方向 | 自由 | ||||||
HORIBA STEC SEC-Z522MGX質(zhì)量流量控制器