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小型等離子清洗機的應用范圍非常廣泛，如半導體芯片、LED芯片、MEMS元件、薄膜太陽能電池等微型器件。在這些器件的制造過程中，往往需要對表面進行清潔、去除雜質(zhì)等處理，以保證器件性能和可靠性。等離子清洗機適用于對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、高分子材料等物體表面進行360度清潔和表面改性處理，提高濕潤性提升工件粘接、涂層、印刷、去膠的可靠性
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