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體積電阻率及表面電阻率測試儀SB121的應(yīng)用
閱讀：2203 發(fā)布時間：2012-12-11
1. 接好電源線和測試線，將測試線與待測試器器件連接好。量程置于104檔，從儀器后面板調(diào)電壓按鈕到所要求的測量電壓。
2. 接通電源調(diào)零，在“Rx”兩端開路的情況下，調(diào)零使電流表的顯示為0000。
3. 將待測試樣平鋪在不保護(hù)電極正中央，然后用保護(hù)電極壓住樣品，再插入被保護(hù)電極（不保護(hù)電極、保護(hù)電極、被保護(hù)電極應(yīng)同軸且確認(rèn)電極之間無短路）。
4. 測試：接好線路，側(cè)體積電阻時測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時測試按鈕撥到Rs邊，接通電源同時開始計時，量程按鈕從低檔位逐漸撥，每撥一次停留1-2秒觀察顯示數(shù)字，當(dāng)被測電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“1”，此時應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置。測量儀器有顯示值時應(yīng)停下，在1min的電化時間后測量電阻，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測電阻。
5. 測試完畢將量程撥至（104）檔，測試按鈕撥到中央位置后關(guān)閉電源。
6. 注意事項
應(yīng)在“Rx”兩端開路時調(diào)零，一般一次調(diào)零后在測試過程中不需再調(diào)零。
禁止將“RX”兩端短路，以免微電流放大器受大電流沖擊。
在測試過程中不要隨意改動測量電壓。
測量時從低次檔逐漸撥往高次檔。
接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分。
測試過程中不能觸摸微電流測試端。
在測量高阻時，應(yīng)采用屏蔽盒將被測物體屏蔽。
*先做體積電阻率然后做表面電阻率測試