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不同氣體和壓力對真空漏孔漏率的影響
針對目前大多數標準漏孔的漏率都是在He 和入口壓力為100 kPa 下的漏率，采用定容變壓法校準了銘牌漏率為2.3 × 10-6 Pa·m3/s 的標準真空漏孔在使用H2、He、D2三種氣體時，在不同入口壓力下的漏率。預先對系統(tǒng)進行了加熱除氣后計算了系統(tǒng)本底漏率大小，并探討了本底漏率對校準漏孔漏率的影響。結合粘滯流-分子流理論研究了不同氣體和漏孔入口壓力對漏孔漏率的影響。
近年來，真空漏孔越來越多地應用于航空航天、電子工業(yè)、電力工業(yè)及制冷工業(yè)等領域。真空漏孔是向真空端（出口壓力小于1000 Pa）提供穩(wěn)定氣體流量的裝置，目前，國內外很多計量實驗室和研究機構都建立了相應的校準裝置，常用的漏率校準方法有定容法、恒壓法、質譜比較法、固定流導法、分流法等等。其中定容變壓法適于校準漏率較大的漏孔，設備與操作簡單，對漏孔校準精度較高。
目前大多數標準真空漏孔的漏率都是采用He 在漏孔入口壓力為1 kPa 下標定的，而實際工作中常需要校準真空漏孔在非He 和漏孔壓力大于一個大氣壓下的漏率。氣體和壓強都會對漏孔的漏率產生一定的影響，因此，為了獲得更為的漏孔漏率，有必要研究氣體和壓力對真空漏孔漏率的影響。本文通過改變漏孔入口端氣體種類和壓力，對同一真空漏孔進行了漏率標定，并初步研究了氣體種類和壓力對漏孔漏率的影響。
1、漏率校準機理
根據定義，漏率Q 就是氣體量pV 對時間t 的全微分，即
這就是定容法，即將真空漏孔流出的氣體引入到一封閉系統(tǒng)中，在系統(tǒng)溫度、體積恒定不變的情況下，通過測量單位時間內系統(tǒng)壓力的變化速率dp/dt，從而得到漏孔漏率Q 的方法。采用定容法校準漏孔漏率時，溫度波動和定容室體積大小等因素對定容法校準系統(tǒng)會產生一定的影響，如真空漏孔的接入會帶來系統(tǒng)的容積變化，使測得的系統(tǒng)容積存在誤差。因此，認為系統(tǒng)溫度需維持在296 K 以避免額外的溫度修正，系統(tǒng)容積不能太小，一般要大于2 ×10-3m3。
另外用定容法測漏孔漏率時還需考慮系統(tǒng)自身的漏放氣，也就是系統(tǒng)的本底漏率影響。圖1 為漏率與時間的關系，其中，線1 代表系統(tǒng)自身漏放氣使本底壓力隨時間變化，使系統(tǒng)本底壓力升高的因素包括系統(tǒng)放氣、系統(tǒng)管壁滲透和未知泄漏。線2 代表理想的系統(tǒng)壓力隨時間變化關系，線2 的斜率dpL/dt 與系統(tǒng)容積V 的乘積即為漏孔漏率。線3代表實際實驗記錄到的壓力-時間關系，為線1 與線2 的疊加。
圖1 壓力隨時間變化關系
考慮到系統(tǒng)本底漏放氣的影響，漏孔漏率可計算為
即起始時間相同時，可用相同時間段內的漏率與本底漏率之差表示漏孔的真實漏率。
2、校準裝置及校準方法
2.1、校準裝置
標準漏孔校準裝置如圖2 所示。該校準裝置主要由氣源、被校準漏孔、標準容積、定容室、薄膜真空規(guī)、復合真空計及抽氣系統(tǒng)組成。
圖2 定容法標準漏孔校準裝置結構原理圖
4、結論
(1) 在對系統(tǒng)加熱除氣后降至23℃并在抽真空度至10-6 Pa 條件下對系統(tǒng)密閉靜置。系統(tǒng)自身漏放氣引起的本底漏率為1.15 × 10-8 Pa·m3/s，該系統(tǒng)在此工作條件下校準漏率大于10 -6 Pa·m3/s 漏孔時可不考慮本底漏率影響，但當漏孔漏率低于10-7 Pa·m3/s 時不可忽略系統(tǒng)漏放氣造成的影響；
(2) 在100 ～ 400 kPa 壓差范圍內，對漏率為2.3 × 10-6 Pa·m3/s 的標準真空漏孔漏率校準結果表明，在H2、He、D2三種充入氣體下，漏孔漏率都與壓力平方呈線性關系，漏孔氣體處于粘滯流態(tài)；
(3) 對相同漏孔入口壓強下，充入不同氣體的漏孔漏率進行對比后發(fā)現，漏孔漏率與氣體粘度成反比，相同壓力下He 的粘滯系數大，氣體流動性差，通過漏孔的漏率小； 而H2粘滯系數小，漏孔漏率大，漏孔氣體為粘滯流。