無損檢測儀微焦點X射線透視檢查裝置
Xslicer SMX-6010是一款堅直照射型x射線檢查設備，配備了生產的微焦點x射線發(fā)生器和高分辦率平板探測器。通過高清晰度和寬動態(tài)范圍圖像，可以觀察到細微的內部結構和缺陷。此外，可以簡單快速地進行透視/CT模式切換，根據(jù)工作要求實施多種觀察。所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實裝基板。

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無損檢測儀微焦點X射線透視檢查裝置

一款堅直照射型x射線檢查設備，配備了島津生產的微焦點x射線發(fā)生器和高分辦率平板探測器。通過高清晰度和寬動態(tài)范圍圖像，可以觀察到細微的內部結構和缺陷。此外，可以簡單快速地進行透視/CT模式切換，根據(jù)工作要求實施多種觀察。Xslicer SMX-6010所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實裝基板。

■ 傾斜CT

傾斜CT拍攝大型實裝板等時

因樣品在XY載物臺上，所以可移近X射線發(fā)生裝置，進行高倍放大拍攝。

 

 

■ 直線CT

直線CT拍攝大型基板等時

如果為獲得高放大倍率而將樣品靠近X射線發(fā)生裝置側，CT拍攝中樣品會與X射線互相干擾，從而無法進行高倍放大攝影。

如果是基板上的樣品，則不同于受樣品寬度影響的直線CT，傾斜CT可進行高放大倍率攝影。

無損檢測儀微焦點X射線透視檢查裝置

系統(tǒng)構成

方便維護的本公司自制X射線發(fā)生裝置與搭載各種安全機構的系統(tǒng)，實現(xiàn)更低成本、更安全的使用.

X射線發(fā)生裝置:搭載了管電壓160kV·1μm分辨率 開放管X射線發(fā)生裝置。實現(xiàn)高壓發(fā)生器的一體化，無需進行高壓電纜維護。自動調整功能，使更換燈絲更加簡便。
※1μm分辨率：JIMA Chart測試

 

X射線檢出器:搭載300萬像素平板檢出器。

5軸載物臺
除搭載樣品的載物臺的XYZ軸外，檢出器也會傾斜、旋轉。5軸聯(lián)動，支持所有角度的檢查。