ZDF-1A/ZDF-1B數(shù)顯式復(fù)合真空計(jì)

儀器名稱：數(shù)顯式復(fù)合真空計(jì)
ZDF-1A型（測(cè)控范圍100000－10－6Pa）
ZDF-1B型（測(cè)控范圍100000-10－4Pa）
控制輸出： 全量程上下限可調(diào)四路繼電器（選件）
數(shù)據(jù)輸出： RS485（配通訊光盤）（選件）
                全量程0－5V（或4-20mA）對(duì)數(shù)線性輸出（選件）
規(guī)管切換：  1－99分鐘可調(diào)延遲
規(guī)管除氣：  99秒自動(dòng)
測(cè)量模式：  手動(dòng)優(yōu)先/自動(dòng)優(yōu)先
配用規(guī)管：  電阻規(guī)（皮拉尼規(guī)）、電離規(guī)二路測(cè)量
可擴(kuò)充性：  可增加一路熱偶規(guī)測(cè)量（ 選件）
面板尺寸：  320寬×99高×200深
 

一、特點(diǎn)及用途：

本儀器是內(nèi)含微處理器的傻瓜型高性能儀器，是專為1.0E5Pa到1.0E-6Pa（ZDF-1A型）或1.0E5Pa到1.0E-4Pa （ZDF-1B型）范圍真空自動(dòng)測(cè)量控制而設(shè)計(jì)的，有電阻規(guī)、電離規(guī)、熱偶規(guī)三個(gè)測(cè)量通道（其中熱偶規(guī)測(cè)量通道根據(jù)用戶選購(gòu)時(shí)定制）。有鎖定自動(dòng)、手選自動(dòng)、手動(dòng)三種操作模式；從低真空電阻規(guī)測(cè)量*轉(zhuǎn)到高真空電離規(guī)測(cè)量有0-99分鐘可設(shè)延遲；機(jī)內(nèi)參數(shù)有SOFTLOCK密碼鎖保護(hù)；新16位高速AD轉(zhuǎn)換電路；微處理器自動(dòng)修正電路參數(shù)不*性給測(cè)量帶來(lái)的誤差。儀器具有可靠的抗沖擊線路自保護(hù)功能，可廣泛用于真空鍍膜、電子束焊、熱處理、冶金、化工、半導(dǎo)體、激光及電工行業(yè)。

二、技術(shù)條件：

1、     測(cè)量及控制范圍：1.0E5Pa到1.0E-6Pa （ZDF-1A型）

                     1.0E5Pa到1.0E-4Pa （ZDF-1B型）

2、     配用規(guī)管：電阻規(guī)、電離規(guī)（根據(jù)用戶要求可增加一路熱偶規(guī)）

通道2：ZJ-52（或ZJ-52K）金屬電阻規(guī)（測(cè)1.0E5Pa到0.1Pa）

通道3：ZJ-27抗氧化玻璃電離規(guī)（測(cè)5Pa到1.0E-6Pa） （ZDF-1A型）

       ZJ-10抗氧化中真空電離規(guī)（測(cè)26Pa到1.0E-4Pa） （ZDF-1B型）

        通道1：ZJ-54D（或ZJ-54DK）金屬熱偶規(guī)（測(cè)量300Pa到0.1Pa）（用戶選購(gòu)件）

5、發(fā)射電流：   50μA允差3%（5.0Pa到1.0E-1Pa）

             5mA允差3%（9.9E-2Pa到1.0E-6Pa） （ZDF-1A型）

                50μA允差3%（26Pa到1.0E-2Pa）

                500μA允差3%（9.9E-3Pa到1.0E-4Pa） （ZDF-1B型）

   陽(yáng)極電壓：225V允差3%（ZDF-1A型）

             165V允差3%（ZDF-1B型）

   陰極電壓：25V允差5%（ZDF-1A型）

             50V允差5%（ZDF-1B型）

   測(cè)量精度：讀數(shù)值±20%（1E5-1E3范圍為讀數(shù)值±50%）

6、輸出控制繼電器4路，每路均全量程可調(diào)、每路均有上下限設(shè)定，可用于區(qū)域控制和點(diǎn)位控制（用戶選購(gòu)件）。

7、RS485串行輸出（用戶選購(gòu)件）。

8、0-5V全量程線性電壓輸出（用戶選購(gòu)件）。

7、電阻規(guī)和電離規(guī)測(cè)量可自動(dòng)轉(zhuǎn)換，有鎖定自動(dòng)、手選自動(dòng)、手動(dòng)三種模式。

8、電阻規(guī)*轉(zhuǎn)到電離規(guī)測(cè)量時(shí)可設(shè)定延時(shí)，延時(shí)可設(shè)范圍0-99分鐘。

9、功能設(shè)定有SOFTLOCK密碼鎖保護(hù)（本機(jī)密碼15）。

9、顯示單位：Pa；

10、顯示方式：*.*E**Pa冪次方科學(xué)計(jì)數(shù)法（舉例：3.2E-2Pa=0.032Pa;4.5E3Pa=4500Pa）

11、外型尺寸：99×320×200mm（高×寬×深）標(biāo)準(zhǔn)KBA機(jī)箱。

三、使用方法（可電詢021－62315744、62317134、）：

1、熟悉儀器：用戶將儀器不接規(guī)管通電，先行操作按鍵熟悉操作方法。儀表按鍵采用“所按即所得”方式操作。大數(shù)碼管顯示測(cè)量值，小數(shù)碼管顯示測(cè)量通道: 按“電阻2”鍵顯通道2-----電阻規(guī)測(cè)量值; 按“電離3”鍵顯通道3-----電離規(guī)測(cè)量值; 按“熱偶1”鍵顯通道1-----熱偶規(guī)測(cè)量值; 再按“熱偶1”鍵顯通道0-----熱偶規(guī)加熱電流值（28.0MA-50.0MA可調(diào)）。在顯通道2時(shí)按“自動(dòng)”鍵，“AUTO”燈亮，儀器據(jù)測(cè)量值在電阻規(guī)和電離規(guī)間自動(dòng)切換。

2、安裝規(guī)管：將規(guī)管用真空連接的方法接入真空系統(tǒng)（玻璃電離規(guī)必須先切割開口），并將規(guī)管用規(guī)管線同儀表相連。建議電阻規(guī)和電離規(guī)并接入主真空腔，熱偶規(guī)（用戶選購(gòu)的話）接入前級(jí)真空管路。

3、使用前的調(diào)整：                                         

A、手動(dòng)模式時(shí)（即開啟電源后“Auto（自動(dòng)）”燈滅的狀態(tài)）：

當(dāng)系統(tǒng)中確認(rèn)為未抽真空處于大氣壓時(shí)，按“電阻2”鍵，用螺絲刀調(diào)面板上2孔電阻規(guī)滿度電位器，使2通道電阻規(guī)顯示為9.9E4Pa；當(dāng)連好熱偶規(guī)（新規(guī)管）的情況下（此為用戶選購(gòu)件），按“熱偶1”鍵二次，使顯示0通道熱偶規(guī)電流，用螺絲刀調(diào)面板上1孔熱偶規(guī)電流電位器，使顯示為30.0mA；電離規(guī)參數(shù)不用調(diào)節(jié)。

B、鎖定自動(dòng)模式時(shí)（即開啟電源后“Auto（自動(dòng)）”燈亮的狀態(tài)）：

   按下節(jié)儀表的設(shè)置方式先改為手動(dòng)模式再照上條A項(xiàng)手動(dòng)模式調(diào)整。

4、真空測(cè)量（可電詢021－62315744、62317134、）：

   （1） 開啟用戶真空抽氣機(jī)組即可測(cè)量真空，用戶可先用手動(dòng)模式進(jìn)行設(shè)備調(diào)試。1.0E5Pa到1.0Pa 時(shí)“按電阻2”用2通道的電阻規(guī)測(cè)低真空；5.0Pa到1.0E-6Pa（ZDF-1A型）、26Pa到1.0E-4Pa（ZDF-1B型）時(shí)“按電離3”用3通道電離規(guī)測(cè)高真空（如真空度不在電離規(guī)測(cè)量范圍，則按“電離3”鍵后，由于離子流曲線的下彎將會(huì)顯示虛假真空度，同時(shí)引起燈絲氧化進(jìn)而燒毀燈絲）；用1通道熱偶規(guī)測(cè)前級(jí)管道真空。若需電離規(guī)除氣,當(dāng)測(cè)量值低于9.9E-3Pa時(shí),按住“DEG鍵”3秒鐘再放開，儀表進(jìn)入99秒倒計(jì)數(shù)電離規(guī)除氣，按“電離3“鍵可中斷除氣。設(shè)備調(diào)試完畢用戶可據(jù)工藝要求改用鎖定自動(dòng)模式或手選自動(dòng)模式（手選自動(dòng)模式時(shí)按“自動(dòng)”鍵即可進(jìn)入自動(dòng)狀態(tài)（Auto狀態(tài)））進(jìn)行測(cè)量。

（2）自動(dòng)狀態(tài)（即“Auto（自動(dòng)）”燈亮的狀態(tài)）：儀表自動(dòng)首先用電阻規(guī)（小數(shù)碼管顯2）測(cè)量1.0E5Pa到4.0Pa，當(dāng)所測(cè)系統(tǒng)內(nèi)壓力低于4.0E0Pa時(shí)自動(dòng)轉(zhuǎn)為電離規(guī)（小數(shù)碼管顯3）測(cè)量。自動(dòng)狀態(tài)時(shí)按“電阻2”和“電離3”鍵儀表將不予理睬。用戶須注意區(qū)分鎖定自動(dòng)（鍵已鎖定）或手選自動(dòng)（按“自動(dòng)”鍵即可亮或滅“自動(dòng)”燈，鍵不鎖定）的差別，鎖定自動(dòng)（鍵已鎖定）時(shí)，電阻規(guī)*測(cè)到轉(zhuǎn)換真空值時(shí)將再等待一段用戶設(shè)定的延時(shí)時(shí)間（時(shí)間長(zhǎng)短據(jù)用戶功能設(shè)定“de”中設(shè)定而定，若設(shè)為0則無(wú)延遲功能）再轉(zhuǎn)到電離規(guī)測(cè)量，而手選自動(dòng)中的自動(dòng)無(wú)延遲。

（3）手選自動(dòng)模式中自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)量狀態(tài)的選擇：按“自動(dòng)”鍵“Auto”燈亮，進(jìn)入自動(dòng)狀態(tài)，此時(shí)儀表測(cè)量自動(dòng)轉(zhuǎn)換；再按“自動(dòng)”鍵“Auto”燈滅進(jìn)入手動(dòng)控制狀態(tài)，此時(shí)儀表測(cè)量由用戶根據(jù)量程手動(dòng)選擇電阻規(guī)或電離規(guī)。

真空系統(tǒng)放氣時(shí)請(qǐng)先切換到電阻規(guī)測(cè)量或直接關(guān)閉儀表電源以保護(hù)電離規(guī)（若儀表處于鎖定自動(dòng)狀態(tài)時(shí)，可將用戶自動(dòng)控制設(shè)備上控制放氣繼電器的一付觸點(diǎn)串入本真空計(jì)的220V供電電源回路中，放氣時(shí)該繼電器的觸點(diǎn)自動(dòng)切斷真空計(jì)電源；放氣完畢真空泵再啟動(dòng)時(shí)，該繼電器觸點(diǎn)吸合，真空計(jì)又恢復(fù)工作。