氣動(dòng)超高真空插板閥是通過電動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)閥桿帶動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號(hào)裝置CC超高真空插板閥主要零件材料
閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、 腈橡膠。
CC超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)

在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。
真空閥門具有下列特點(diǎn)： 　　
壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。 　　
對(duì)這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。 　　
按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組： 　　
低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱； 　　
2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。 　　
3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱； 　　
4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。 　　
     作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運(yùn)動(dòng)的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對(duì)于大通徑來說的?？捎玫倪€有球 形旋塞閥（球閥）、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因?yàn)樾y需要用油潤滑，使油汽可能進(jìn)入真空系統(tǒng)，而這是不允許的。真空閥門既可用現(xiàn)場(chǎng) 手控和遙控，也可用電動(dòng)、電磁傳動(dòng)（電磁閥）、氣動(dòng)和液動(dòng)控制。
 　真空閥門關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑（口徑在10毫米以下）的截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用
開關(guān)氣路，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時(shí)，三科閥門機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空；當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作，對(duì)容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。 　　
2.控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大?。魂P(guān)閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。 　　
3.定量充氣，三科閥門在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿高壓氣體；當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
 　真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動(dòng)方式、材料和用途進(jìn)行分類。

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