靶材為什要測量密度？秒準靶材密度計的優(yōu)勢在哪里？

靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時，不易吸附，無空隙，背靶易脫落。

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

靶材在生產(chǎn)制造的過程中需要對其密度進行測試，采用的方法是阿基米德原理，儀器自動計算出靶材密度g/cm3。目前生產(chǎn)的測試采用人工對靶材進行測量，由于靶材重量大，操作不便，不利于手動計算測試密度。因此需要一種專用密度儀進行操作。因此解決這一問題就顯得十分必要。

如何測量靶材的密度？

陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質(zhì)分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理：根據(jù)ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738?？蛇m用于采用阿基米德原理浮力法，準確直讀量測數(shù)值。

秒準靶材密度計經(jīng)過市場10幾年的驗證以及不斷的研發(fā)升級，現(xiàn)已具備以下特點：
1、數(shù)顯直讀，無需人工計算，直接顯示密度和體積等參數(shù)。

2、全彩7寸觸摸屏操作，自帶打印功能，可編輯帶公司名稱物料編碼的數(shù)據(jù)報告。
3、采用梅特勒傳感器，測量精準、操作簡便、穩(wěn)定耐用。
4、具有實際水溫補償功能，可適應測試環(huán)境變化。

5、可設定媒介液密度，使用水作介質(zhì)，也可使用其它液體介質(zhì)。
6、采用SUS304一體水槽，耐腐蝕耐摔，底部設計靜音萬向輪，便于移動。

7、含USB通信接口，方便與電腦連接。

8、內(nèi)置靜音排水系統(tǒng)，方便換水。
功能描述：

1、直接讀取靶材工件的密度和體積。

特別備注：秒準靶材密度計支持非標定制，已經(jīng)為多家用戶實現(xiàn)自動化密度測試儀非標定制，搭配機械手/吊機，自動完成密度測試，自動輸出數(shù)據(jù)。