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補(bǔ)償式微壓計(jì)壓力傳感器如何檢測(cè)
微壓計(jì)的壓力傳感器檢測(cè)方法
補(bǔ)償式微壓計(jì)是一種測(cè)量壓力、差壓和真空壓力的精密儀器，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，性能穩(wěn)定，準(zhǔn)確度較高等特點(diǎn)。針對(duì)測(cè)量微壓的壓力傳感器測(cè)量的壓力值較小，而普通壓力標(biāo)準(zhǔn)裝置較難產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)微壓的情況，通過對(duì)補(bǔ)償式微壓計(jì)的實(shí)際應(yīng)用，我認(rèn)為可用其產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)微壓來檢測(cè)0 ~ 2500Pa范圍段的壓力傳感器。
1、工作原理
補(bǔ)償式微壓計(jì)產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)微壓的工作原理是以流體靜壓力基本方程為基礎(chǔ)，以空氣作為傳壓氣柱，將液柱高度的壓力作用于被檢測(cè)的壓力傳感器上，并用液體高度來表示相應(yīng)的壓力，其中P為液體密度，g為重力加速度，h為液柱高度。
2、檢測(cè)方法
先將微壓計(jì)的微分螺桿調(diào)零位，再通過壓力計(jì)小容器端的調(diào)節(jié)螺帽調(diào)整小容器反射鏡內(nèi)讀數(shù)尖頭與液面接觸的情況，當(dāng)反射鏡中看到尖頭的尖峰和自己的影像王好相對(duì)時(shí)，微壓計(jì)兩端產(chǎn)生的壓差為0。接著將壓力計(jì)的兩端接頭用膠管與被檢測(cè)壓力傳感器相連通過旋轉(zhuǎn)微分螺桿某高度h，在傳感器兩端產(chǎn)生壓差。式中h可從微分螺桿的標(biāo)尺讀取。
3、誤差分析
根據(jù)液體壓力基本公式，可知影響檢測(cè)結(jié)果的因素，下面對(duì)主要因素作一下分析。
（1）液柱不垂直引起的誤差
液柱高度h指垂直距離，如果微壓計(jì)在使用時(shí)使液柱和標(biāo)尺產(chǎn)生了傾斜，將給檢定結(jié)果引入誤差。
（2）零位誤差
零位變化是由于微壓計(jì)在使用中經(jīng)常出現(xiàn)掛壁現(xiàn)象所產(chǎn)生的，其中有由于表面張力引起毛細(xì)現(xiàn)象造成的原因，也有工作介質(zhì)純度、測(cè)量管的光滑及清潔程度的原因。克服零位誤差變化的方法是針對(duì)產(chǎn)生誤差的主要原因采取有關(guān)措施，如反復(fù)加壓、減壓，增大管徑以減少毛細(xì)現(xiàn)象的影響及清潔接頭連接處避免掛壁現(xiàn)象等。
（3）使用地點(diǎn)重力加速度的影響
因處于地球不同部位，各地重力加速度g數(shù)值是不同的。在精密測(cè)量中，對(duì)按某一重力加速度數(shù)值制作的標(biāo)尺，在不同地點(diǎn)使用，要對(duì)所測(cè)壓力進(jìn)行修正。
（4）使用環(huán)境溫度的影響
使用環(huán)境溫度的變化將影響工作介質(zhì)的密度和微壓計(jì)標(biāo)尺刻度的準(zhǔn)確度。其中主要對(duì)工作介質(zhì)密度有。