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技術(shù)文章

CKD化學(xué)液體用氣控閥選型標(biāo)準(zhǔn)

閱讀:618          發(fā)布時間:2022-6-17

氣控閥

化學(xué)液體用氣控閥

型號

AMD※※3R?AMG※※3R?GAMD※※3R

化學(xué)液體用氣控閥的新標(biāo)準(zhǔn)型。

適用于各種壓力、溫度、流體條件的gao端產(chǎn)品。

可將過去細(xì)分用途的機型統(tǒng)一。


行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序(前工序)

化學(xué)液體供給設(shè)備用元件

產(chǎn)品特點:

【擴大使用壓力范圍】

通過采用新密封結(jié)構(gòu),擴大使用壓力范圍。

A、B口的使用壓力實現(xiàn)通用化。

【酸堿適用】

執(zhí)行器采用耐化學(xué)藥品性優(yōu)異的氟樹脂“PVDF",標(biāo)準(zhǔn)型應(yīng)用非常廣泛,酸堿同樣適用。

【擴大流體溫度范圍】

大幅擴大標(biāo)準(zhǔn)品的使用流體溫度范圍(Max. 120℃)。

可選擇帶傳感器的類型,通過信號確認(rèn)閥的開閉情況。


【3種安裝方法】

除傳統(tǒng)的法蘭安裝、底面安裝外,還增加了4螺孔法蘭安裝。

化學(xué)液體用氣控閥的標(biāo)準(zhǔn)型。

成形品連接選擇項豐富的系列。

集成閥也備有兩種可選。


行業(yè)

半導(dǎo)體制造工序(前工序)


【連接選擇項豐富】(AMD※※2、AMG※※2、GAMD※※2系列)

樹脂閥體:SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc, 聚氯乙烯活接頭

SUS閥體:Rc, SUS伸出管, 雙卡套


【可供應(yīng)混合集成閥】(GAMD0※2A系列)

GAMD0※2A系列通過采用分割閥體結(jié)構(gòu),能以短交貨期供應(yīng)混合集成閥。

標(biāo)準(zhǔn)品可選擇接頭尺寸和接頭方向、搭載的執(zhí)行器(動作分類、選擇項等)等。


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